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1. (WO2017046349) DISPOSITIF POUR ÉVALUER UNE CONCENTRATION PARTICULAIRE SURFACIQUE DANS UN ENVIRONNEMENT À ATMOSPHÈRE CONTRÔLÉE TEL QU'UNE SALLE PROPRE ET PROCÉDÉ ASSOCIÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/046349    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/072009
Date de publication : 23.03.2017 Date de dépôt international : 16.09.2016
CIB :
G01N 15/06 (2006.01)
Déposants : CENTRE NATIONAL D'ETUDES SPATIALES [FR/FR]; 2, place Maurice Quentin 75001 Paris (FR)
Inventeurs : MENANT, Nina; (FR).
FAYE, Delphine; (FR).
BOURCIER, Frédéric; (FR)
Mandataire : REGIMBEAU; 20, rue de Chazelles 75847 Paris Cedex 17 (FR)
Données relatives à la priorité :
1558699 16.09.2015 FR
Titre (EN) DEVICE FOR EVALUATING A PER-UNIT-AREA PARTICULATE CONCENTRATION IN AN ENVIRONMENT WITH A CONTROLLED ATMOSPHERE, SUCH AS A CLEANROOM, AND ASSOCIATED METHOD
(FR) DISPOSITIF POUR ÉVALUER UNE CONCENTRATION PARTICULAIRE SURFACIQUE DANS UN ENVIRONNEMENT À ATMOSPHÈRE CONTRÔLÉE TEL QU'UNE SALLE PROPRE ET PROCÉDÉ ASSOCIÉ
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a device for evaluating a per-unit-area particulate concentration in an environment with a controlled atmosphere, such as a cleanroom, the device comprising: a transparent area (1) for deposition of the particles; an optical system (2) placed above the area for deposition of the particles, the optical system comprising a focusing system configured to emit from an optical source (21) an optical beam focused on the area for deposition of the particles, which area is transparent at the wavelength of the optical beam; a detecting system (3) placed above the area for deposition of the particles, the detecting system (3) being configured to detect an intensity of an optical beam transmitted by the area for deposition of the particles; and a scanning system (4) to which the optical system (2), the optical source (21) and the detecting system (3) are connected, the scanning system being configured to scan the area for deposition of the particles in two dimensions allowing a continuous measurement.
(FR)L'invention concerne un dispositif pour évaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement à atmosphère contrôlée tel qu'une salle propre, le dispositif comprenant : - une surface ( 1 ) transparente de dépôt des particules; - un système (2) optique disposé au-dessus de la surface de dépôt des particules, le système optique comprenant un système de focalisation configuré pour émettre un faisceau optique focalisé depuis une source (21 ) optique sur la surface de dépôt des particules transparente pour la longueur d'onde du faisceau optique; - un système (3) de détection disposé au-dessous de la surface de dépôt des particules, le système (3) de détection étant configuré pour détecter une intensité d'un faisceau optique transmis par la surface de dépôt des particules; - un système (4) de balayage auquel le système (2) optique, la source (21 ) optique et le système (3) de détection sont liés, le système de balayage étant configuré pour balayer la surface de dépôt des particules selon deux dimensions permettant une mesure en continu.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)