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1. (WO2017043123) PROCÉDÉ D'INSPECTION PAR RAYONS X ET DISPOSITIF D'INSPECTION PAR RAYONS X
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/043123    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/064223
Date de publication : 16.03.2017 Date de dépôt international : 13.05.2016
CIB :
G01N 23/04 (2006.01), G01N 23/10 (2006.01), G01N 23/18 (2006.01)
Déposants : HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Inventeurs : URANO Yuta; (JP).
ZHANG Kaifeng; (JP).
MATOBA Yoshiki; (JP).
TAKEDA Akihiro; (JP)
Mandataire : SEIRYO I.P.C.; 24-2, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-178954 10.09.2015 JP
Titre (EN) X-RAY INSPECTION METHOD AND X-RAY INSPECTION DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D'INSPECTION PAR RAYONS X ET DISPOSITIF D'INSPECTION PAR RAYONS X
(JA) X線検査方法及びX線検査装置
Abrégé : front page image
(EN)The purpose of the present invention is an x-ray inspection device wherein detection using time delay integration can be carried out for a thick subject for inspection without degrading the spatial resolution. This x-ray inspection device (100) is characterized in being provided with: a detection unit provided with an x-ray source (1) for generating x rays, a transport unit (3) for transporting a sample (S), and a time delay integration (TDI) detector (4) for detecting x rays generated by the x-ray source (1), the x-rays having passed through the sample (S) transported by the transport unit (3); and a defect determining unit (7) for processing signals obtained through detection by the time delay integration detector (4) and determining defects in the sample, the transport unit (3) transporting the sample (S) while causing the same to rotate simultaneously with transportation when the sample (S) passes in front of the time delay integration detector (4) of the detection unit.
(FR)L'objectif de la présente invention est un dispositif d'inspection par rayons X dans lequel la détection au moyen d'une intégration de retard temporel peut être réalisée pour un sujet épais pour une inspection sans dégrader la résolution spatiale. Le dispositif d'inspection par rayons X (100) est caractérisé en ce qu'il comprend : une unité de détection comprenant une source de rayons X (1) pour générer des rayons X, une unité de transport (3) pour transporter un échantillon (S), et un détecteur à intégration de retard temporel (TDI) (4) pour détecter des rayons X générés par la source de rayons X (1), les rayons X ayant passé à travers l'échantillon (S) transporté par l'unité de transport (3) ; et une unité de détermination de défaut (7) pour traiter des signaux obtenus par détection par le détecteur à intégration de retard temporel (4) et déterminer des défauts dans l'échantillon, l'unité de transport (3) transportant l'échantillon (S) tout en amenant ce dernier à tourner simultanément avec le transport lorsque l'échantillon (S) passe devant le détecteur à intégration de retard temporel (4) de l'unité de détection.
(JA)本発明は、X線検査装置において、厚みのある被検査物に対しても空間分解能を劣化させることなく時間遅延積分による検出を可能にすることを目的とする。本発明のX線検査装置(100)は、X線を発生するX線源(1)と、試料(S)を搬送する搬送部(3)と、X線源(1)で発生して搬送部(3)で搬送されている試料(S)を透過したX線を検出する時間遅延積分(TDI)型の検出器(4)を備えた検出部と、時間遅延積分型の検出器(4)で検出して得た信号を処理して試料中の欠陥を判定する欠陥判定部(7)とを備え、搬送部(3)は、試料(S)が検出部の時間遅延積分型の検出器(4)の前を通過するときに、搬送と同期させて試料(S)を回転 させながら搬送することを特徴とする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)