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1. (WO2017040640) DISPOSITIF DE MESURE D'ÉMISSION D'ÉLECTRONS OPTIQUEMENT STIMULÉE ET PROCÉDÉ POUR CARACTÉRISER ET COMPARER DES NIVEAUX ET DES ESPÈCES DE CONTAMINANTS DE SURFACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/040640    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/049672
Date de publication : 09.03.2017 Date de dépôt international : 31.08.2016
CIB :
G01N 21/33 (2006.01), G01N 23/22 (2006.01), G01N 23/227 (2006.01), G01Q 30/02 (2010.01)
Déposants : UNITED STATES OF AMERICA AS REPRESENTED BY THE ADMINISTRATOR OF THE NATIONAL AERONAUTICS AND SPACE [US/US]; Administration 300 E Street SW Washington, DC 20546 (US)
Inventeurs : YOST, William, T; (US).
PEREY, Daniel, F.; (US)
Mandataire : WARMBIER, Andrea, Z.; (US).
EDWARDS, Robin, W.; (US).
RILEY, Jennifer, L.; (US)
Données relatives à la priorité :
15/210,444 14.07.2016 US
62/214,232 04.09.2015 US
Titre (EN) OPTICALLY STIMULATED ELECTRON EMISSION MEASUREMENT DEVICE AND METHOD FOR CHARACTERIZING AND COMPARING LEVELS AND SPECIES OF SURFACE CONTAMINANTS
(FR) DISPOSITIF DE MESURE D'ÉMISSION D'ÉLECTRONS OPTIQUEMENT STIMULÉE ET PROCÉDÉ POUR CARACTÉRISER ET COMPARER DES NIVEAUX ET DES ESPÈCES DE CONTAMINANTS DE SURFACE
Abrégé : front page image
(EN)Systems, methods, instruments and devices of the various embodiments enable improved characterization and comparison of the level and species of surface contaminants from photo- induced emission analysis. The various embodiments may provide flexibility for calculating and analyzing the time-dependence of emission efficiencies. Irregular and heterogeneous surfaces, including regionally multiply -connected surface compositions, may be analyzed according to the various embodiments, and the various embodiments include techniques that support specific contaminant identification. Various embodiment focusing techniques may enhance assessment of spatially differential regional analysis of the substrate for more critical applications. The various embodiments may also include differential comparison with reference surfaces, either through differential comparison while scanning, or by comparison to digitally stored responses to known contaminants.
(FR)L'invention concerne des systèmes, des procédés, des instruments et des dispositifs selon divers modes de réalisation, qui permettent d'améliorer la caractérisation et la comparaison du niveau et des espèces de contaminants de surface à partir d'une analyse d'émission photo-induite. Les divers modes de réalisation peut fournir une flexibilité permettant le calcul et l'analyse de la dépendance temporelle de rendements d'émission. Des surfaces irrégulières et hétérogènes, comprenant par endroits des compositions de surface connectées de façon multiple, peuvent être analysées selon les divers modes de réalisation, et les divers modes de réalisation concernent des techniques qui prennent en charge une identification spécifique de contaminant. Diverses techniques de focalisation des modes de réalisation peuvent améliorer l'évaluation d'une analyse régionale spatialement différentielle du substrat pour des applications plus critiques. Les divers modes de réalisation peuvent également concerner la comparaison différentielle avec des surfaces de référence, soit par une comparaison différentielle tout en balayant, soit par une comparaison avec des réponses stockées numériquement à des contaminants connus.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)