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1. (WO2017038903) DISPOSITIF DE MESURE DE FORME DE SURFACE ET PROGRAMME DE MESURE DE FORME DE SURFACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/038903    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/075576
Date de publication : 09.03.2017 Date de dépôt international : 31.08.2016
CIB :
G01B 21/20 (2006.01), G01B 11/24 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
Inventeurs : MIYAWAKI Takashi; (JP)
Mandataire : RYUKA IP LAW FIRM; 22F, Shinjuku L Tower, 1-6-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 1631522 (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-171301 31.08.2015 JP
Titre (EN) SURFACE-SHAPE MEASURING DEVICE AND SURFACE-SHAPE MEASURING PROGRAM
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE FORME DE SURFACE ET PROGRAMME DE MESURE DE FORME DE SURFACE
(JA) 表面形状測定装置および表面形状測定プログラム
Abrégé : front page image
(EN)When known surface-shape data is used to more precisely measure the surface shape of an object to be measured, highly accurate measurement results cannot be obtained if there is an error in the installation of said object on a stage. A surface-shape measuring device that is provided with: a stage that supports an object to be measured; a measuring apparatus that measures the surface shape of the object to be measured in a non-contact manner; a computation part that, on the basis of an output value from the measuring apparatus and of predetermined basic shape data for the object to be measured, computes surface-shape data for the object to be measured; and a calculation unit that, on the basis of the surface-shape data, of the basic shape data, and of information on a target installation position on the stage for the object to be measured, calculates the installation error between the target installation position and the actual installation position on the stage of the object to be measured. The computation unit uses the installation error to update the surface-shape data for the object to be measured.
(FR)Selon l'invention, lorsque des données de forme de surface connue sont utilisés pour mesurer avec plus de précision la forme de la surface d'un objet à mesurer, des résultats de mesure très précis ne peuvent pas être obtenus s'il y a une erreur dans l'installation dudit objet sur une platine. Un dispositif de mesure de forme de surface comprend : une platine qui porte un objet à mesurer; un appareil de mesure qui mesure la forme de la surface de l'objet à mesurer d'une manière sans contact ; une partie de calcul qui, sur la base d'une valeur de sortie de l'appareil de mesure et de données de forme basiques prédéterminées pour l'objet à mesurer, calcule des données de forme de surface pour l'objet à mesurer ; et une unité de calcul qui, sur la base des données de forme de surface, des données de forme basiques et d'informations sur une position d'installation cible sur la platine pour l'objet à mesurer, calcule l'erreur d'installation entre la position d'installation cible et la position d'installation réelle sur la platine de l'objet à mesurer. L'unité de calcul utilise l'erreur d'installation à mettre à jour les données de forme de surface pour l'objet à mesurer.
(JA)既知の表面形状データを利用して被測定物の表面形状をより精密に測定する場合に、ステージに対する被測定物の設置に誤差があると、精度の高い測定結果を得ることができなかった。表面形状測定装置は、被測定物を支持するステージと、非接触で被測定物の表面形状を測定する測定器と、測定器の出力値と予め定められた被測定物の基準形状データとに基づいて被測定物の表面形状データを演算する演算部と、ステージにおける被測定物の目標設置位置の情報、表面形状データ、および基準形状データに基づいて、ステージにおける被測定物の実際の設置位置と目標設置位置との設置誤差を算出する算出部とを備え、演算部は、設置誤差を用いて被測定物の表面形状データを更新する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)