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1. (WO2017038902) DISPOSITIF DE MESURE DE LA FORME D'UNE SURFACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/038902    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/075575
Date de publication : 09.03.2017 Date de dépôt international : 31.08.2016
CIB :
G01B 11/24 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
Inventeurs : MIYAWAKI Takashi; (JP)
Mandataire : RYUKA IP LAW FIRM; 22F, Shinjuku L Tower, 1-6-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 1631522 (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-171422 31.08.2015 JP
Titre (EN) SURFACE-SHAPE MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE LA FORME D'UNE SURFACE
(JA) 表面形状測定装置
Abrégé : front page image
(EN)When the surface shape of an object to be measured is to be measured with precision, it is desirable that a head that is provided with a sensor for measuring be afforded substantial freedom of movement. Generally, however, the head is weighted down by a drive system, complex control is necessary, and, as a result, measurement speed is slowed. A surface-shape measuring device that is provided with: a measurement unit that has a radiation part that radiates radiated light at an object to be measured and a light detecting part that detects return light of the radiated light; a drive part that, on the basis of predetermined basic shape data for the object to be measured, moves the measurement unit to a measurement position that faces the object to be measured; and a calculation part that calculates surface-shape data for the object to be measured on the basis of the basic shape of the object to be measured, which is indicated by the basic shape data, and of a slope in relation to the basic shape, said slope being obtained on the basis of detection results from the light detecting part at the measurement position.
(FR)L'invention est motivée par le fait que lorsque la forme de la surface d'un objet à mesurer doit être mesurée avec précision, il est souhaitable qu'une tête munie d'un capteur de mesure dispose d'une importante liberté de mouvement. Toutefois, en règle générale, la tête est lestée d'un système d'entraînement, une commande complexe est nécessaire et, ce faisant, la vitesse de mesure est ralentie. L'invention concerne un dispositif de mesure de la forme d'une surface doté : d'une unité de mesure possédant une partie de rayonnement qui rayonne de la lumière rayonnée en direction d'un objet devant être mesuré et d'une partie de détection de lumière qui détecte la lumière de retour de la lumière rayonnée ; d'une partie d'entraînement qui, sur la base de données de la forme de base prédéterminées pour l'objet à mesurer, déplace l'unité de mesure dans une position de mesure face à l'objet à mesurer ; et d'une partie de calcul qui calcule des données de forme de la surface pour l'objet à mesurer sur la base de la forme de base de l'objet à mesurer, laquelle est indiquée par les données de la forme de base, et sur la base d'une pente par rapport à la forme de base, ladite pente étant obtenue sur la base de résultats de détection provenant de la partie de détection de lumière au niveau de la position de mesure.
(JA)被測定物の表面形状を精密に測定したい場合には、測定のためのセンサを備えるヘッドに多くの移動自由度を与えたいが、駆動系のためにヘッドが重くなり、また複雑な制御を要するために、測定速度が遅くなってしまう問題があった。表面形状測定装置であって、 被測定物に照射光を照射する照射部と、照射光の戻り光を検出する光検出部とを有する測定ユニットと、予め定められた被測定物の基準形状データに基づいて、被測定物に対向する測定位置に測定ユニットを移動させる駆動部と、測定位置における光検出部の検出結果に基づいて得られる、基準形状データが示す被測定物の基準形状に対する傾きと、基準形状とに基づいて被測定物の表面形状データを算出する算出部と、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)