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1. (WO2017038466) CORPS DE MAINTIEN DE PIÈCE ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/038466    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/073974
Date de publication : 09.03.2017 Date de dépôt international : 17.08.2016
CIB :
C23C 14/50 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP)
Inventeurs : NAKAMUTA, Yuu; (JP).
MATSUMOTO, Masahiro; (JP).
HARADA, Manabu; (JP).
TAKAHASHI, Koji; (JP).
KAGEYAMA, Takashi; (JP)
Mandataire : OMORI, Junichi; (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-172612 02.09.2015 JP
Titre (EN) WORKPIECE HOLDING BODY AND FILM FORMING APPARATUS
(FR) CORPS DE MAINTIEN DE PIÈCE ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM
(JA) ワーク保持体および成膜装置
Abrégé : front page image
(EN)A workpiece holding body 20 for surface processing according to one embodiment of the present invention is provided with a holder 21 and an adhesive sheet 22. The adhesive sheet 22 has: a first surface 22a (a first adhesive layer 221) that is bonded to the holder 21 with a first adhesive force; and a second surface 22b (a second adhesive layer 222) that is configured to be capable of holding a workpiece (a component main body 110) with a second adhesive force that is higher than the first adhesive force.
(FR)La présente invention concerne un corps de maintien de pièce (20) pour le traitement de surface qui dans un mode de réalisation est pourvu d'un support (21) et d'une feuille adhésive (22). La feuille adhésive (22) a : une première surface (22a) (une première couche adhésive (221)) qui est collée au support (21) avec une première force d'adhérence ; et une seconde surface (22b) (une seconde couche adhésive (222)) qui est conçue pour pouvoir maintenir une pièce (un corps principal (110) d'élément) avec une seconde force d'adhérence qui est supérieure à la première force d'adhérence.
(JA)本発明の一形態に係る表面処理用のワーク保持体20は、ホルダ21と、粘着シート22とを具備する。粘着シート22は、第1の粘着力でホルダ21に接着される第1の面22a(第1の粘着層221)と、上記第1の粘着力よりも高い第2の粘着力でワーク(部品本体110)を保持することが可能に構成された第2の面22b(第2の粘着層222)とを有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)