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1. (WO2017038377) APPAREIL DE TRAITEMENT D'IMAGE POUR UNE IMAGE À MOTIF SEMI-CONDUCTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/038377    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/073026
Date de publication : 09.03.2017 Date de dépôt international : 05.08.2016
CIB :
G06T 7/00 (2017.01), G06T 1/00 (2006.01), G06T 7/60 (2017.01)
Déposants : HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventeurs : USHIBA Hiroyuki; (JP).
ABE Yuichi; (JP).
NAGATOMO Wataru; (JP)
Mandataire : TODA Yuji; (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-169977 31.08.2015 JP
Titre (EN) IMAGE PROCESSING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR PATTERN IMAGE
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT D'IMAGE POUR UNE IMAGE À MOTIF SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 半導体パターン画像の画像処理装置
Abrégé : front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide an image processing apparatus capable of performing a highly robust matching process irrespective of pattern misalignment, deformation, or the like included in a high-density pattern. The present invention proposes an image processing apparatus that calculates a matching result between a pattern and reference data on the basis of a comparison between a feature value obtained by calculating the curvature of a specific part of an edge of a pattern extracted from an image to be search and a feature value extracted from the reference data, or on the basis of a comparison between classification information allocated according to the feature value of the specific part of the edge extracted from the image and classification information extracted from the reference data.
(FR)La présente invention a pour but de proposer un appareil de traitement d'image apte à réaliser un processus de mise en correspondance hautement robuste indépendamment du désalignement de motifs, de la déformation de motifs, ou analogues inclus dans un motif à haute densité. La présente invention propose un appareil de traitement d'image qui calcule un résultat de mise en correspondance entre un motif et des données de référence sur la base d'une comparaison entre une valeur de caractéristique obtenue par calcul de la courbure d'une partie spécifique d'un bord d'un motif extrait à partir d'une image à rechercher et une valeur de caractéristique extraite à partir des données de référence, ou sur la base d'une comparaison entre des informations de classification affectées selon la valeur de caractéristique de la partie spécifique du bord extrait à partir de l'image et des informations de classification extraites à partir des données de référence.
(JA)本発明は、高密度パターンに含まれるパターンの位置ずれや変形等によらず、ロバスト性の高いマッチング処理が可能な画像処理装置の提供を目的とする。本発明は、被探索画像から抽出されるパターンのエッジの特定部位の曲率を演算することによって、求められる特徴量と、基準データから抽出される特徴量との比較、或いは画像から抽出されるエッジの特定部位の特徴量に応じて割り当てられる分類情報と、基準データから抽出される分類情報との比較に基づいて、パターンと基準データとの間のマッチング結果を演算する画像処理装置を提案する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)