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1. (WO2017037014) PROCÉDÉ ET STATION DE MESURE DE LA CONTAMINATION D'UNE BOÎTE DE TRANSPORT POUR LE CONVOYAGE ET LE STOCKAGE ATMOSPHÉRIQUE DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/037014    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/070309
Date de publication : 09.03.2017 Date de dépôt international : 29.08.2016
CIB :
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/673 (2006.01)
Déposants : PFEIFFER VACUUM [FR/--]; 98 Avenue de Brogny 74000 Annecy (FR)
Inventeurs : LE-BARILLEC, Olivier; (FR).
BOUNOUAR, Julien; (FR)
Mandataire : CROONENBROEK, Thomas; (FR).
SOGAN, Gloria; (FR).
PERIAN, Priscilla; (FR)
Données relatives à la priorité :
1558115 02.09.2015 FR
Titre (EN) METHOD AND STATION FOR MEASURING THE CONTAMINATION OF A TRANSPORT BOX FOR THE CONVEYING AND ATMOSPHERIC STORAGE OF SUBSTRATES
(FR) PROCÉDÉ ET STATION DE MESURE DE LA CONTAMINATION D'UNE BOÎTE DE TRANSPORT POUR LE CONVOYAGE ET LE STOCKAGE ATMOSPHÉRIQUE DE SUBSTRATS
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a method for measuring the contamination of a transport box (2) for the conveying and atmospheric storage of substrates (3), which comprises measuring the concentration of at least one gaseous species inside the transport box (2) by means of a measurement device including at least one gas analyser (5, 5b) and a measurement pipe (6) connecting the at least one gas analyser (5, 5b) to an interface (7), the interface (7) bringing the measurement pipe (6) into communication with the atmosphere inside at least one transport box (2), characterised in that a stream of gas containing steam is provided in the measurement device. The present invention likewise relates to a station for measuring the contamination of a transport box for the conveying and atmospheric storage of substrates.
(FR)L'invention concerne un procédé de mesure de la contamination d'une boîte de transport (2) pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats (3) dans lequel on mesure la concentration d'au moins une espèce gazeuse à l'intérieur de la boîte de transport (2) par un dispositif de mesure comprenant au moins un analyseur de gaz (5, 5b) et une canalisation de mesure (6) reliant le au moins un analyseur de gaz (5, 5b) à une interface (7), l'interface (7) mettant en communication la canalisation de mesure (6) avec l'atmosphère interne d'au moins une boîte de transport (2), caractérisé en ce qu'on fournit un flux de gaz contenant de la vapeur d'eau dans le dispositif de mesure. La présente invention concerne également une station de mesure de la contamination d'une boîte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)