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1. (WO2017036717) APPAREIL DE DIVISION DE FAISCEAU
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/036717    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/068513
Date de publication : 09.03.2017 Date de dépôt international : 03.08.2016
CIB :
G02B 5/18 (2006.01), G02B 27/10 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), G02B 6/293 (2006.01), H01S 3/09 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : DE VRIES, Gosse, Charles; (NL).
NIENHUYS, Han-Kwang; (NL)
Mandataire : SLENDERS, Peter; (NL)
Données relatives à la priorité :
EP15183677.2 03.09.2015 EP
Titre (EN) BEAM SPLITTING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE DIVISION DE FAISCEAU
Abrégé : front page image
(EN)A beam-splitting apparatus (40) arranged to receive an input radiation beam (B) and split the input radiation beam (B) into a plurality of output radiation beams (Ba - Bj). The beam-splitting apparatus (40) comprising a plurality of reflective diffraction gratings (41-45) arranged to receive a radiation beam and configured to form a diffraction pattern comprising a plurality of diffraction orders, at least some of the reflective diffraction gratings (42-45) being arranged to receive a 0th diffraction order formed at another of the reflective diffraction gratings (41-44). The reflective diffraction gratings are arranged such that the optical path of each output radiation beam (Ba - Bj) includes no more than one instance of a diffraction order which is not a 0th diffraction order.
(FR)La présente invention concerne un appareil de division de faisceau, qui est prévu pour recevoir un faisceau de rayonnement d'entrée et pour diviser le faisceau de rayonnement d'entrée en une pluralité de faisceaux de rayonnement de sortie. L'appareil de division de faisceau comprend une pluralité de réseaux de diffraction réfléchissants destinés à recevoir un faisceau de rayonnement et conçus pour former une figure de diffraction incluant une pluralité d'ordres de diffraction, au moins certains des réseaux de diffraction réfléchissants étant prévus pour recevoir un 0ème ordre de diffraction formé dans un autre réseau de diffraction réfléchissant. Les réseaux de diffraction réfléchissants sont disposés de telle sorte que le chemin optique de chaque faisceau de rayonnement de sortie n'inclue pas plus d'une occurrence d'un ordre de diffraction qui n'est pas un 0ème ordre de diffraction.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)