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1. (WO2017035142) DÉTERMINATION D'AU MOINS UNE CARACTÉRISTIQUE D'UN MOTIF D'INTÉRÊT SUR UN ÉCHANTILLON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/035142    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/048199
Date de publication : 02.03.2017 Date de dépôt international : 23.08.2016
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventeurs : LENNEK, Michael; (US).
PARK, Allen; (US).
DUFFY, Brian; (US).
KULKARNI, Ashok; (US)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; (US)
Données relatives à la priorité :
62/209,231 24.08.2015 US
15/243,809 22.08.2016 US
Titre (EN) DETERMINING ONE OR MORE CHARACTERISTICS OF A PATTERN OF INTEREST ON A SPECIMEN
(FR) DÉTERMINATION D'AU MOINS UNE CARACTÉRISTIQUE D'UN MOTIF D'INTÉRÊT SUR UN ÉCHANTILLON
Abrégé : front page image
(EN)Methods and systems for determining characteristic(s) of patterns of interest (POIs) are provided. One system is configured to acquire output of an inspection system generated at the POI instances without detecting defects at the POI instances. The output is then used to generate a selection of the POI instances. The system then acquires output from an output acquisition subsystem for the selected POI instances. The system also determines characteristic(s) of the POI using the output acquired from the output acquisition subsystem.
(FR)L'invention concerne des procédés et des systèmes pour déterminer au moins un caractéristique de motifs d'intérêt (POI). Un système est configuré pour acquérir une sortie d'un système d'inspection générée au niveau des instances de POI sans détecter des défauts au niveau des instances de POI. La sortie est ensuite utilisée pour générer une sélection des instances de POI. Le système acquiert ensuite une sortie d'un sous-système d'acquisition de sortie pour les instances de POI sélectionnées. Le système détermine également une ou plusieurs caractéristiques du POI à l'aide de la sortie acquise auprès du sous-système d'acquisition de sortie.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)