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1. (WO2017034807) SÉQUENÇAGE ET DIRECTION DE BALAYAGE LASER PAR RAPPORT À UN ÉCOULEMENT DE GAZ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/034807    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/046327
Date de publication : 02.03.2017 Date de dépôt international : 10.08.2016
CIB :
G01N 21/88 (2006.01), G01N 1/22 (2006.01), G01N 11/02 (2006.01)
Déposants : ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. [US/US]; 13900 NW Science Park Drive Portland, OR 97229 (US)
Inventeurs : FINN, Daragh; (US).
FERGUSON, Robert A.; (US)
Mandataire : LEVINE, Michael L.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/210,193 26.08.2015 US
Titre (EN) LASER SCAN SEQUENCING AND DIRECTION WITH RESPECT TO GAS FLOW
(FR) SÉQUENÇAGE ET DIRECTION DE BALAYAGE LASER PAR RAPPORT À UN ÉCOULEMENT DE GAZ
Abrégé : front page image
(EN)Employing laser scanning directions (20) that are oblique to and against a predominant gas flow direction (25) equalize the quality and waviness characteristics of orthogonal scribe lines (26) made by the laser scans. Positioning and sequence of multiple scan passes to form a feature wider than the width of a scribe line (26) can be controlled to enhance quality and waviness characteristics of the edges of the feature.
(FR)L'utilisation de directions de balayage laser (20) qui sont obliques par rapport à une direction d'écoulement de gaz (25) prédominante égalise la qualité et les caractéristiques d'ondulation de lignes de tracé (26) orthogonal obtenues au moyen des balayages laser. Le positionnement et la séquence de multiples passages de balayage en vue de former un élément plus large que la largeur d'une ligne de tracé (26) peuvent être réglés de sorte à améliorer la qualité et les caractéristiques d'ondulation des bords de l'élément.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)