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1. (WO2017032540) ACTIONNEUR DE LORENTZ, SYSTÈME DE POSITIONNEMENT D'OBJET, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'ACTIONNEUR DE LORENTZ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/032540    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/067975
Date de publication : 02.03.2017 Date de dépôt international : 28.07.2016
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H02K 41/03 (2006.01), H01F 7/06 (2006.01), H02K 41/035 (2006.01), H02K 15/03 (2006.01), H02K 29/06 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [--/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : FISCHER, Olof, Martinus, Josephus; (NL).
BOON, Fidelus, Adrianus; (NL)
Mandataire : VERHOEVEN, Johannes; (NL)
Données relatives à la priorité :
15182657.5 27.08.2015 EP
Titre (EN) LORENTZ ACTUATOR, OBJECT POSITIONING SYSTEM, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND LORENTZ ACTUATOR OPERATING METHOD
(FR) ACTIONNEUR DE LORENTZ, SYSTÈME DE POSITIONNEMENT D'OBJET, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'ACTIONNEUR DE LORENTZ
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a Lorentz actuator comprising: - a magnet arrangement; - a coil arrangement; - a current controller for supplying a current to the coil arrangement; wherein the magnet and coil arrangement are moveable relative to each other in a main direction, wherein the coil arrangement comprises a first and second coil portion that are separately operable by the current controller, such that when the same current is supplied to the first coil portion as is supplied to the second coil portion, Lorentz forces generated in the main direction by the first and second coil portion are also the same, and wherein the current controller is configured to supply a current to the first and second coil portions with a phase difference in order to compensate for parasitic reluctance and/or Lorentz forces in an auxiliary direction perpendicular to the main direction.
(FR)L'invention concerne un actionneur de Lorentz comprenant : un agencement d'aimant ; un agencement de bobine ; un organe de commande de courant pour fournir un courant à l'agencement de bobine ; l'agencement d'aimant et l'agencement de bobine sont mobiles l'un par rapport à l'autre dans une direction principale, l'agencement de bobine comprenant une première et une seconde partie de bobine qui peuvent être actionnées séparément par l'organe de commande de courant, de sorte que lorsque le même courant est fourni à la première partie de bobine ainsi qu'à la seconde partie de bobine, les forces de Lorentz générées dans la direction principale par la première et la seconde partie de bobine sont également les mêmes ; et l'organe de commande de courant est conçu pour fournir un courant aux première et seconde parties de bobine avec une différence de phase afin de compenser une réluctance parasite et/ou les forces de Lorentz dans une direction auxiliaire, perpendiculaire à la direction principale.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)