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1. WO2017010540 - PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE FABRICATION DE MATRICE D'IMPRESSION

Numéro de publication WO/2017/010540
Date de publication 19.01.2017
N° de la demande internationale PCT/JP2016/070800
Date du dépôt international 14.07.2016
CIB
H01L 21/027 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
027Fabrication de masques sur des corps semi-conducteurs pour traitement photolithographique ultérieur, non prévue dans le groupe H01L21/18 ou H01L21/34187
B29C 33/42 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
29TRAVAIL DES MATIÈRES PLASTIQUES; TRAVAIL DES SUBSTANCES À L'ÉTAT PLASTIQUE EN GÉNÉRAL
CFAÇONNAGE OU ASSEMBLAGE DES MATIÈRES PLASTIQUES; FAÇONNAGE DES MATIÈRES À L'ÉTAT PLASTIQUE NON PRÉVU AILLEURS; POST-TRAITEMENT DES PRODUITS FAÇONNÉS, p.ex. RÉPARATION
33Moules ou noyaux; Leurs détails ou accessoires
42caractérisés par la forme de la surface de moulage, p.ex. par des nervures ou des rainures
B29C 59/02 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
29TRAVAIL DES MATIÈRES PLASTIQUES; TRAVAIL DES SUBSTANCES À L'ÉTAT PLASTIQUE EN GÉNÉRAL
CFAÇONNAGE OU ASSEMBLAGE DES MATIÈRES PLASTIQUES; FAÇONNAGE DES MATIÈRES À L'ÉTAT PLASTIQUE NON PRÉVU AILLEURS; POST-TRAITEMENT DES PRODUITS FAÇONNÉS, p.ex. RÉPARATION
59Façonnage de surface, p.ex. gaufrage; Appareils à cet effet
02par des moyens mécaniques, p.ex. par pressage
CPC
B05C 5/0204
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
5Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
02the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g.; from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
0204for applying liquid or other fluent material to the edges of essentially flat articles
B29C 2033/426
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
33Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
42characterised by the shape of the moulding surface, e.g. ribs or grooves
424Moulding surfaces provided with means for marking or patterning
426Stampers
B29C 33/3842
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
33Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
38characterised by the material or the manufacturing process
3842Manufacturing moulds, e.g. shaping the mould surface by machining
B29C 33/42
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
33Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
42characterised by the shape of the moulding surface, e.g. ribs or grooves
B29C 33/72
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
33Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
70Maintenance
72Cleaning
B29C 59/002
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
59Surface shaping ; of articles; , e.g. embossing; Apparatus therefor
002Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
Déposants
  • 芝浦メカトロニクス株式会社 SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 出村 健介 DEMURA,Kensuke
  • 中村 聡 NAKAMURA,Satoshi
  • 松嶋 大輔 MATSUSHIMA,Daisuke
  • 幡野 正之 HATANO,Masayuki
  • 柏木 宏之 KASHIWAGI,Hiroyuki
Mandataires
  • 特許業務法人三澤特許事務所 MISAWA PATENT OFFICE, P.C.
Données relatives à la priorité
2015-14042514.07.2015JP
Langue de publication Japonais (ja)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) IMPRINTING TEMPLATE MANUFACTURING DEVICE AND METHOD
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE FABRICATION DE MATRICE D'IMPRESSION
(JA) インプリント用のテンプレート製造装置及びテンプレート製造方法
Abrégé
(EN) An imprinting template manufacturing device (1) according to an embodiment is provided with: a supply head (11) which includes a raised portion with an uneven pattern formed thereon, and which supplies a liquid-repelling liquid material to a template W on a stage; a transport unit (20) which causes the supply head (11) and the stage to move relative to one another in a direction along the stage; a control unit (40) which controls the supply head (11) and the transport unit (20) so that the supply head (11) can coat at least a side surface of the raised portion with the liquid-repelling liquid material while avoiding the uneven pattern; and a washing unit (30) which supplies a liquid to the template W coated with the liquid-repelling liquid material. The liquid-repelling liquid material includes a liquid-repelling component and a non-liquid-repelling component which react with the surface of the template W, and a volatile solvent which dissolves the liquid-repelling component. The liquid is a fluorine-based volatile solvent that dissolves the non-liquid-repelling component.
(FR) L'invention concerne, selon un mode de réalisation, un dispositif de fabrication (1) de matrice d'impression comprenant : une tête d'alimentation (11) qui contient une portion surélevée sur laquelle est formé un motif irrégulier et qui apporte un matériau liquide de répulsion de liquide à une matrice (W) sur une platine ; une unité de transport (20) qui amène la tête d'alimentation (11) et la platine à se déplacer l'une par rapport à l'autre dans une direction le long de la platine ; une unité de commande (40) qui commande la tête d'alimentation (11) et l'unité de transport (20), de sorte que la tête d'alimentation (11) puisse revêtir au moins une surface latérale de la portion surélevée avec le matériau liquide de répulsion de liquide, tout en évitant le motif irrégulier ; et une unité de lavage (30) qui fournit un liquide à la matrice (W) revêtue du matériau liquide de répulsion de liquide. Le matériau liquide de répulsion de liquide comprend un composant de répulsion de liquide et un composant ne repoussant pas le liquide qui réagissent avec la surface de la matrice (W) et un solvant volatil qui dissout le composant de répulsion de liquide. Le liquide est un solvant volatil à base de fluor qui dissout le composant ne repoussant pas le liquide.
(JA) 実施形態に係るインプリント用のテンプレート製造装置(1)は、凹凸パターンが形成された凸部を有する、ステージ上のテンプレートWに液状の撥液材を供給する供給ヘッド(11)と、供給ヘッド(11)及びステージをステージに沿う方向に相対移動させる搬送部(20)と、供給ヘッド(11)が凹凸パターンを避けて少なくとも凸部の側面に液状の撥液材を塗布するように供給ヘッド(11)及び搬送部(20)を制御する制御部(40)と、液状の撥液材が塗布されたテンプレートWに液体を供給する洗浄部(30)とを備える。液状の撥液材は、テンプレートWの表面と反応する撥液成分及び非撥液成分と、撥液成分を溶かす揮発性溶剤とを含む。前述の液体は、非撥液成分を溶かすフッ素系の揮発性溶剤である。
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