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1. (WO2017003983) MESURE D’ATTÉNUATION INTERFÉROMÉTRIQUE À L'AIDE D'UN RÉSEAU DE FRANGES STATIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2017/003983 N° de la demande internationale : PCT/US2016/039712
Date de publication : 05.01.2017 Date de dépôt international : 28.06.2016
CIB :
G01N 21/95 (2006.01) ,G01B 11/24 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95
caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24
pour mesurer des contours ou des courbes
Déposants :
CORNING INCORPORATED [US/US]; 1 Riverfront Plaza Corning, New York 14831, US
Inventeurs :
BEAN, Alexander Timothy; US
DUNN, Thomas James; US
LEE, Christopher Alan; US
TRONOLONE, Mark Joseph; US
Mandataire :
CICCARELLI, John; US
Données relatives à la priorité :
62/186,70130.06.2015US
Titre (EN) INTERFEROMETRIC ROLL-OFF MEASUREMENT USING A STATIC FRINGE PATTERN
(FR) MESURE D’ATTÉNUATION INTERFÉROMÉTRIQUE À L'AIDE D'UN RÉSEAU DE FRANGES STATIQUE
Abrégé :
(EN) An apparatus (20) for measuring the surface contour of a target area of a substrate (10) has a light source (22) to emit a measurement light beam. A beam splitting element (74) defines a measurement axis (OM) and a reference axis (OR). A substrate holder (76) disposes the target area along the measurement axis and tilted away from normal incidence, about a tilt axis (T) that orthogonally intersects the measurement axis, according to a predetermined tilt angle (Tθ) that is a function of the measurement light beam wavelength. An imaging sensor (40) records a fringe pattern generated from the measurement light beam and a reference light beam. A computer extracts frequency profiles from the recorded fringe pattern, each profile taken in a direction that is orthogonal to the direction of the tilt axis, wherein the programmed instructions further compute changes in the contour of the target area surface according to the frequency profiles.
(FR) Cette invention concerne un appareil (20) pour mesurer le contour superficiel de la zone cible d'un substrat (10) comportant une source de lumière (22) pour émettre un faisceau lumineux de mesure. Un élément de division de faisceau (74) définit un axe de mesure (OM) et un axe de référence (OR). Un porte-substrat (76) permet d'agencer la zone cible le long de l'axe de mesure selon une inclinaison par rapport à l'incidence normale, autour d'un axe d'inclinaison (T) qui coupe perpendiculairement l'axe de mesure, à un angle d'inclinaison prédéfini (Tθ) qui dépend de la longueur d'onde du faisceau lumineux de mesure. Un capteur d'imagerie (40) enregistre un motif de franges généré par le faisceau lumineux de mesure et un faisceau lumineux de référence. Un ordinateur extrait des profils de fréquences du motif de franges enregistré, chaque profil étant pris dans un sens qui est perpendiculaire au sens de l'axe d'inclinaison, les instructions programmées calculant en outre les variations dans le contour de la surface de la zone cible selon les profils de fréquences.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
KR1020180021132EP3317651CN107850555JP2018528397