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1. (WO2017003868) PORTE-SUBSTRAT ÉLECTROSTATIQUE AVEC CHAUFFAGE À DEL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2017/003868 N° de la demande internationale : PCT/US2016/039277
Date de publication : 05.01.2017 Date de dépôt international : 24.06.2016
CIB :
H01L 21/683 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/324 (2006.01) ,H01L 33/00 (2010.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683
pour le maintien ou la préhension
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04
les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18
les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du quatrième groupe de la Classification Périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
30
Traitement des corps semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par les groupes H01L21/20-H01L21/26162
324
Traitement thermique pour modifier les propriétés des corps semi-conducteurs, p.ex. recuit, frittage
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
33
Dispositifs à semi-conducteurs ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, spécialement adaptés pour l'émission de lumière; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
Déposants :
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, Massachusetts 01930, US
Inventeurs :
SCHALLER, Jason M.; US
WEAVER, William T.; US
EVANS, Morgan D.; US
VOPAT, Robert Brent; US
PERGANDE, Paul E.; US
BLAKE, Julian G.; US
BLAHNIK, David; US
MORADIAN, Ala; US
Mandataire :
FRAME, Robert, C.; NIELDS, LEMACK & FRAME, LLC 176 E. Main Street Suite 5 Westboro, Massachusetts 01581, US
Données relatives à la priorité :
14/753,87029.06.2015US
Titre (EN) ELECTROSTATIC CHUCK WITH LED HEATING
(FR) PORTE-SUBSTRAT ÉLECTROSTATIQUE AVEC CHAUFFAGE À DEL
Abrégé :
(EN) An electrostatic chuck with LED heating is disclosed. The electrostatic chuck with LED heating comprises a first subassembly, which comprises a LED heater, and a second subassembly, which comprises an electrostatic chuck. The LED substrate heater subassembly includes a base having a recessed portion. A plurality of light emitting diodes (LEDs) is disposed within the recessed portion. The LEDs may be GaN or GaP LEDs, which emit light at a wavelength which is readily absorbed by silicon, thus efficiently and quickly heating the substrate. The second subassembly, which comprises an electrostatic chuck, is disposed on the LED substrate heater subassembly. The electrostatic chuck includes a top dielectric layer and an interior layer that are transparent at the wavelength emitted by the LEDs. One or more electrodes are disposed between the top dielectric layer and the interior layer to create the electrostatic force.
(FR) L'invention concerne un porte-substrat électrostatique avec chauffage à DEL. Le porte-substrat électrostatique avec chauffage à DEL comprend un premier sous-ensemble, qui comprend un dispositif de chauffage à DEL, et un second sous-ensemble, qui comprend un porte-substrat électrostatique. Le sous-ensemble de dispositif de chauffage de substrat à DEL comprend une base ayant une partie évidée. Une pluralité de diodes électroluminescentes (DEL) sont disposées à l'intérieur de la partie évidée. Les DEL peuvent être des DEL au GaN ou au GaP, qui émettent de la lumière à une longueur d'onde qui est facilement absorbée par le silicium, ce qui permet de chauffer efficacement et rapidement le substrat. Le second sous-ensemble, qui comprend un porte-substrat électrostatique, est disposé sur le sous-ensemble de dispositif de chauffage de substrat à DEL. Le porte-substrat électrostatique comprend une couche diélectrique supérieure et une couche intérieure qui sont transparentes à la longueur d'onde émise par les DEL. Une ou plusieurs électrodes sont disposées entre la couche diélectrique supérieure et la couche intérieure pour créer la force électrostatique.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
KR1020180014438CN107810547JP2018525813