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1. (WO2017003638) FLUIDE MODIFIÉ PAR UN SILANE POUR RÉDUIRE LE FROTTEMENT POUR MEMS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2017/003638 N° de la demande internationale : PCT/US2016/035581
Date de publication : 05.01.2017 Date de dépôt international : 02.06.2016
CIB :
B81B 3/00 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
B
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3
Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
Déposants :
SNAPTRACK, INC. [US/US]; 5775 Morehouse Drive San Diego, California 92121-1714, US
Inventeurs :
MA, Ji; US
WEI, Xianhe; US
FIKE III, Eugene; US
DUNN, Tyler; US
Mandataire :
HO, Michael T.; US
Données relatives à la priorité :
14/790,63302.07.2015US
Titre (EN) SILANE MODIFIED FLUID FOR MEMS STICTION REDUCTION
(FR) FLUIDE MODIFIÉ PAR UN SILANE POUR RÉDUIRE LE FROTTEMENT POUR MEMS
Abrégé :
(EN) This disclosure provides devices and methods of reducing stiction during a fluid-filling process. A device (400) can include two substrates (404, 422) with movable MEMS components on at least one of the substrates. The device can include a fluid (430) between the two substrates and surrounding or at least partially surrounding the movable MEMS components, where the fluid can serve as a lubricant for the movable MEMS components. The fluid can be a liquid solution doped with a surface energy modifier, where the surface energy modifier includes a nonpolar functional group R. In some implementations, the nonpolar functional group R can be selected from the group consisting of: alkyl, aryl and naphthenic.
(FR) La présente invention concerne des dispositifs et des procédés de réduction de frottement au cours d'un processus de remplissage de fluide. Un dispositif (400) peut comprendre deux substrats (404, 422) avec des composants mobiles MEMS (Systèmes Micro-électromécaniques) sur au moins l'un des substrats. Le dispositif peut comprendre un fluide (430) entre les deux substrats et entourant ou entourant au moins partiellement les composants mobiles MEMS, là où le fluide peut servir de lubrifiant pour les composants mobiles MEMS. Le fluide peut être une solution liquide dopée avec un modificateur d'énergie de surface, où le modificateur d'énergie de surface comprend un groupe fonctionnel non polaire R. Dans certains modes de réalisation, le groupe fonctionnel non polaire R peut être choisi parmi le groupe constitué : d'alkyle, d'aryle et de naphténique.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
CN107709224KR1020180023916JP2018527198