(EN) [Problem] To provide an applied voltage control device and the like which are capable of controlling, with a high degree of precision, the applied voltage applied between electrodes of a plasma reactor. [Solution] The current output from a pulse generating power source 5 is detected by a current sensor 42, and the values of the detected current are integrated by a current integrating circuit 43. There is a correlation between integrated current value obtained from the integration and the applied voltage value applied between electrodes 23 of a plasma reactor 4, and that relationship is stored in an applied voltage value estimation unit 44. When an integrated current value is obtained, an applied voltage value corresponding to the integrated current value is estimated on the basis of the relationship stored in the applied voltage value estimation unit 44. A power source 31 is then controlled on the basis of the estimated applied voltage value.
(FR) Le problème abordé par la présente invention consiste à fournir un dispositif de commande de tension appliquée et analogues qui sont aptes à commander, avec un degré élevé de précision, la tension appliquée, appliquée entre des électrodes d'un réacteur à plasma. La solution porte sur la sortie de courant à partir d'une source de puissance de génération d'impulsions 5 qui est détectée par un capteur de courant 42, et les valeurs du courant détecté sont intégrées par un circuit d'intégration de courant 43. Il existe une corrélation entre une valeur de courant intégrée obtenue à partir de l'intégration et la valeur de tension appliquée, appliquée entre des électrodes 23 d'un réacteur à plasma 4, et cette relation est mémorisée dans une unité d'estimation de valeur de tension appliquée 44. Lorsqu'une valeur de courant intégrée est obtenue, une valeur de tension appliquée correspondant à la valeur de courant intégrée est estimée sur la base de la relation mémorisée dans l'unité d'estimation de valeur de tension appliquée 44. Une source de puissance 31 est ensuite commandée sur la base de la valeur de tension appliquée estimée.
(JA) 【課題】プラズマリアクタの電極間に印加される印加電圧を精度よく制御できる、印加電圧制御装置等を提供する。 【解決手段】電流センサ４２により、パルス発生電源５から出力される電流が検出され、電流積算回路４３により、その検出される電流の値が積算される。この積算により得られる積算電流値とプラズマリアクタ４の電極２３間に印加される印加電圧値とには相関があり、その関係が印加電圧値推定部４４に記憶されている。積算電流値が得られると、印加電圧値推定部４４に記憶されている関係に基づいて、積算電流値に応じた印加電圧値が推定される。そして、その推定された印加電圧値に基づいて、電源３１が制御される。
