Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2017002306) CAPTEUR DE PRESSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2017/002306 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/002679
Date de publication : 05.01.2017 Date de dépôt international : 02.06.2016
CIB :
G01L 9/00 (2006.01) ,H01L 29/84 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9
Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
29
Dispositifs à semi-conducteurs spécialement adaptés au redressement, à l'amplification, à la génération d'oscillations ou à la commutation et ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface; Condensateurs ou résistances ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. jonction PN, région d'appauvrissement, ou région de concentration de porteurs de charges; Détails des corps semi-conducteurs ou de leurs électrodes
66
Types de dispositifs semi-conducteurs
84
commandés par la variation d'une force mécanique appliquée, p.ex. d'une pression
Déposants :
株式会社デンソー DENSO CORPORATION [JP/JP]; 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 1-1, Showa-cho, Kariya-city, Aichi 4488661, JP
Inventeurs :
大野 和幸 OONO, Kazuyuki; JP
橋本 浩嗣 HASHIMOTO, Kouji; JP
Mandataire :
金 順姫 KIN, Junhi; JP
Données relatives à la priorité :
2015-13093130.06.2015JP
Titre (EN) PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION
(JA) 圧力センサ
Abrégé :
(EN) This pressure sensor has a sensor chip (10) and a resin section (40). The sensor chip is provided with: a membrane (11c), which extends in the longer-side direction, and the length of which in the thickness direction is shorter than the lengths of other portions, said thickness direction being orthogonal to the longer-side direction; and a piezoelectric element (20) that is provided to the membrane. The resin section supports the sensor chip in a cantilever manner. The sensor chip has: a supporting end (10a), which is covered with and fixed to the resin section; and a free end (10b), which is an end portion on the opposite side to the supporting end in the longer-side direction. The free end is separated from the resin section in the longer-side direction, and the membrane is disposed on the free end that is separated from the resin section. The shortest distance in the longer-side direction between the membrane and a resin section portion covering the sensor chip is equal to or longer than a sensor chip length in the shorter-side direction orthogonal to the longer-side direction and the thickness direction. With this pressure sensor, a size increase of the sensor chip can be suppressed, while suppressing occurrence of warpage of the membrane.
(FR) La présente invention concerne un capteur de pression qui possède une puce de capteur (10) et une section de résine (40). La puce de capteur comporte : une membrane (11c), laquelle s’étend dans la direction du côté le plus long, et dont la longueur dans la direction de l’épaisseur est inférieure à la longueur de l’autre partie, ladite direction de l’épaisseur étant orthogonale à la direction du côté le plus long ; et un élément piézoélectrique (20) qui est adjoint à la membrane. La section de résine supporte la puce de capteur en porte-à-faux. La puce de capteur possède : une extrémité de support (10a), qui est recouverte par la section de résine et qui est fixée à cette dernière ; et une extrémité libre (10b), laquelle est une partie d’extrémité du côté opposé à l’extrémité de support dans la direction du côté le plus long. L’extrémité libre est séparée de la section de résine dans la direction du côté le plus long, et la membrane est disposée sur l’extrémité libre qui est séparée de la section de résine. La distance la plus courte dans la direction du côté le plus long entre la membrane et une partie de la section de résine recouvrant la puce de capteur est supérieure ou égale à une longueur de la puce de capteur dans la direction du côté le plus court orthogonale à la direction du côté le plus long et à la direction de l’épaisseur. Grâce à ce capteur de pression, un accroissement de la taille de la puce de capteur peut être supprimé, tout en supprimant l’effet de gauchissement de la membrane.
(JA) 圧力センサは、センサチップ(10)と、樹脂部(40)と、を有する。センサチップは、長手方向に延び、長手方向に対して直交する厚さ方向の長さが他の部分より短いメンブレン(11c)と、メンブレンに設けられた圧電素子(20)と、を備える。樹脂部は、センサチップを片持ち支持する。センサチップは樹脂部に被覆されるとともに固定される支持端(10a)と、長手方向について支持端と反対の端部である自由端(10b)を有する。自由端は樹脂部と長手方向に離れており、メンブレンは樹脂部から離れた自由端に配置される。樹脂部におけるセンサチップを被覆する部位とメンブレンとの間の長手方向における最短の離間距離が、センサチップにおける長手方向と厚さ方向それぞれに直交する短手方向の長さ以上である。この圧力センサによると、メンブレンに歪みが生じるのを抑制しつつ、センサチップの体格の増大を抑制することができる。
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Japonais (JA)
Langue de dépôt : Japonais (JA)
Également publié sous:
CN107709950DE112016003014US20180195922