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1. (WO2017000320) MODULE DE PULVÉRISATION ET APPAREIL DE GRAVURE HUMIDE LE PRÉSENTANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2017/000320 N° de la demande internationale : PCT/CN2015/083503
Date de publication : 05.01.2017 Date de dépôt international : 08.07.2015
CIB :
B05B 13/02 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
05
PULVÉRISATION OU ATOMISATION EN GÉNÉRAL; APPLICATION DE LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
B
APPAREILLAGES DE PULVÉRISATION; APPAREILLAGES D'ATOMISATION; AJUTAGES OU BUSES
13
Machines ou installations pour appliquer des liquides ou d'autres matériaux fluides sur des surfaces d'objets ou de matériaux par pulvérisation, non couverts par les groupes B05B1/-B05B11/226
02
Moyens pour supporter l'ouvrage; Disposition ou assemblage des têtes de pulvérisation; Adaptation ou disposition des moyens pour entraîner des pièces
Déposants :
深圳市华星光电技术有限公司 SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO.,LTD. [CN/CN]; 中国广东省深圳市 光明新区塘明大道9-2号 No.9-2, Tangming Road, Guangming Shenzhen, Guangdong 518132, CN
Inventeurs :
李嘉 LI, Jia; CN
Mandataire :
深圳市铭粤知识产权代理有限公司 MING & YUE INTELLECTUAL PROPERTY LAW FIRM; 中国广东省深圳市 南山区登良路21号南油第二工业区206栋6层611室(恒裕中心B座) Suite 611, 6/F, Block 206, Nanyou Second Industrial Zone(Block B,HengYue Center), No.21 Dengliang Road, Nanshan Shenzhen, Guangdong 518054, CN
Données relatives à la priorité :
201510368699.129.06.2015CN
Titre (EN) SPRAYING MODULE AND WET ETCHING APPARATUS HAVING SAME
(FR) MODULE DE PULVÉRISATION ET APPAREIL DE GRAVURE HUMIDE LE PRÉSENTANT
(ZH) 喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备
Abrégé :
(EN) A spraying module (1), comprising a spraying tube (10); plural first through-holes (11) provided at a base portion of the spraying tube; and a nozzle mechanism (12) provided in each first through-hole, wherein, the nozzle mechanism comprises a sliding block (121) having an area greater than that of the first through-hole, and the sliding block is provided within the spraying tube and covers the first through-hole. A nozzle (122) is connected on the sliding block and extends from the first through-hole. The nozzle mechanism further comprises a locking holding member (123) connecting the sliding block to the spraying tube. When the locking holding member is loosened, the sliding block can move in a horizontal plane, thereby adjusting the position of the nozzle in the first through-hole. Further provided is a wet etching apparatus, comprising a spraying unit (400) having a plurality of the above spraying modules (1), the plural spraying tubes in the spraying modules being arranged so as to be mutually parallel or near-mutually parallel. In the spraying module and the wet etching apparatus having the spraying module, the nozzles and spraying tubes of the spraying module are detachably connected to each other, such that when a local etching non-uniformity occurs in an etching process, it is possible adjust a nozzle connection position and improve spraying evenness, thereby improving production efficiency and decreasing costs.
(FR) L'invention concerne un module de pulvérisation (1), comprenant un tube de pulvérisation (10) ; une pluralité de premiers trous traversants (11) situés au niveau d'une partie de base du tube de pulvérisation ; et un mécanisme de buse (12) situé dans chaque premier trou traversant, le mécanisme de buse comprenant un bloc coulissant (121) présentant une aire plus grande que celle du premier trou traversant et le bloc coulissant étant situé à l'intérieur du tube de pulvérisation et recouvrant le premier trou traversant. Une buse (122) est reliée sur le bloc coulissant et s'étend depuis le premier trou traversant. Le mécanisme de buse comprend en outre un élément de maintien de verrouillage (123) reliant le bloc coulissant au tube de pulvérisation. Lorsque l'élément de maintien de verrouillage est desserré, le bloc coulissant peut se déplacer dans un plan horizontal, ce qui permet d'ajuster la position de la buse dans le premier trou traversant. L'invention concerne en outre un appareil de gravure humide, comprenant une unité de pulvérisation (400) présentant une pluralité des modules de pulvérisation (1) ci-dessus, la pluralité de tubes de pulvérisation dans les modules de pulvérisation étant agencés de manière à être mutuellement parallèles ou quasiment mutuellement parallèles. Dans le module de pulvérisation et l'appareil de gravure humide présentant le module de pulvérisation, les buses et les tubes de pulvérisation du module de pulvérisation sont reliés de manière amovible les uns aux autres, de telle sorte que lorsqu'une non-uniformité locale de gravure se produit au cours d'un procédé de gravure, il est possible d'ajuster une position de raccordement de buse et d'améliorer l'uniformité de pulvérisation, ce qui permet d'améliorer l'efficacité de production et de réduire les coûts.
(ZH) 一种喷淋组件(1),包括喷淋管(10),所述喷淋管的底部开设有多个第一通孔(11),每一第一通孔中装配有一喷嘴机构(12),其中,所述喷嘴机构包括一滑块(121),所述滑块的面积大于所述第一通孔的面积,所述滑块设置于所述喷淋管内并覆盖于所述第一通孔上;所述滑块上连接有一喷嘴(122),所述喷嘴从所述第一通孔中伸出;所述喷嘴机构还包括将所述滑块连接到所述喷淋管的锁紧件(123),当所述锁紧件松开时,所述滑块可在水平面内移动,以调整所述喷嘴在所述第一通孔中的位置。一种湿刻设备,包括喷淋单元(400),所述喷淋单元包括多个如上所述的喷淋组件(1),多个喷淋组件中的多个喷淋管相互平行地或近于相互平行地排列。所述喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备中,喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接,当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时,通过调整喷嘴的连接位置即可提高喷淋的均一性,提高了生产效率,降低了成本。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Chinois (ZH)
Langue de dépôt : Chinois (ZH)
Également publié sous:
US20170140950