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1. (WO2016210270) APPAREIL D'INJECTION RÉCURSIF POUR AMÉLIORATION DE DISTRIBUTION DE GAZ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/210270    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/039257
Date de publication : 29.12.2016 Date de dépôt international : 24.06.2016
CIB :
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : MILLER, Aaron; (US).
BERA, Kallol; (US)
Mandataire : BLANKMAN, Jeffrey I.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/185,554 26.06.2015 US
Titre (EN) RECURSIVE INJECT APPARATUS FOR IMPROVED DISTRIBUTION OF GAS
(FR) APPAREIL D'INJECTION RÉCURSIF POUR AMÉLIORATION DE DISTRIBUTION DE GAZ
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus and methods for processing a substrate including an injector unit insert with a plurality of flow paths leading to a first plenum, each of the flow paths providing one or more of substantially the same residence time, length and/or conductance. Injector units including the injector unit inserts have increased flow uniformity.
(FR)L'invention concerne un appareil et des procédés permettant de traiter un substrat comprenant une unité d'injecteur sur laquelle sont insérés une pluralité de trajets d'écoulement conduisant à un premier plénum, chacun des trajets d'écoulement fournissant un ou plusieurs éléments sensiblement identiques parmi le temps de séjour, la longueur, et/ou la conductance. Les unités d'injecteur comprenant les inserts d'unité d'injecteur ont une meilleure uniformité de débit.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)