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1. (WO2016208981) LAVEUR DE TRAITEMENT DE GAZ RÉSIDUAIRE FORMÉ D'UNE COMBINAISON DE MOYENS DE CONTACT GAZ-LIQUIDE QUI PRÉSENTENT DE MULTIPLES FONCTIONS AFIN D'ÊTRE APPROPRIÉS POUR LE TRAITEMENT SELON DES PROPRIÉTÉS À GAZ RÉSIDUAIRE

Pub. No.:    WO/2016/208981    International Application No.:    PCT/KR2016/006665
Publication Date: Fri Dec 30 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Fri Jun 24 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/02
B01D 47/06
B01D 53/78
Applicants: HYOJIN IDS CO., LTD.
주식회사 효진아이디에스
SAMSUNG ENGINEERING CO., LTD.
삼성엔지니어링 주식회사
Inventors: SEO, Ick Hwan
서익환
PARK, Dae Yeon
박대연
PARK, Seung Chul
박승철
KIM, Ji Young
김지영
Title: LAVEUR DE TRAITEMENT DE GAZ RÉSIDUAIRE FORMÉ D'UNE COMBINAISON DE MOYENS DE CONTACT GAZ-LIQUIDE QUI PRÉSENTENT DE MULTIPLES FONCTIONS AFIN D'ÊTRE APPROPRIÉS POUR LE TRAITEMENT SELON DES PROPRIÉTÉS À GAZ RÉSIDUAIRE
Abstract:
La présente invention concerne un laveur qui traite un gaz résiduaire au moyen d'un ensemble de moyens de contact gaz-liquide multicouches, formé en combinant une pluralité de moyens de contact gaz-liquide unitaire qui présentent différentes fonctions de contact gaz-liquide afin d'être appropriés pour le traitement de gaz d'échappement alcalin selon les propriétés et la concentration de celui-ci, le gaz d'échappement alcalin étant émis à partir d'un procédé de fabrication de semi-conducteur. Le laveur est un laveur par voie humide qui absorbe et purifie un gaz d'échappement en faisant en sorte qu'une solution de nettoyage entre en contact avec un gaz d'échappement alcalin, les moyens de contact gaz-liquide installés à l'intérieur du laveur l'épurateur étant formés d'une structure multicouche formée en combinant une pluralité de corps unitaires de moyens de contact gaz-liquide des corps d'unités qui présentent différentes fonctions de contact gaz-liquide.