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1. (WO2016208552) CIBLE EN ALLIAGE DE PLATINE

Pub. No.:    WO/2016/208552    International Application No.:    PCT/JP2016/068326
Publication Date: Fri Dec 30 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Wed Jun 22 01:59:59 CEST 2016
IPC: C23C 14/34
C22C 5/04
C22C 28/00
H01L 21/285
Applicants: TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K.
田中貴金属工業株式会社
Inventors: MASAHIRO, Yasushi
政広 泰
WATANABE, Yasunobu
渡邉 恭伸
EGUCHI, Toyokazu
江口 豊和
Title: CIBLE EN ALLIAGE DE PLATINE
Abstract:
La présente invention concerne une cible de pulvérisation en alliage de platine qui est constituée d'un alliage Pt-Hf, l'alliage Pt-Hf présentant une teneur en Hf de 10 à 90 % en masse. Dans la présente invention, les propriétés électriques ont été améliorées par l'addition d'Hf du point de vue de la fonction de travail tout en dirigeant l'attention sur Pt en tant que métal qui forme un siliciure de grande résistance à la chaleur. La présente invention rend possible la production de manière efficace d'un film mince de Pt-Hf. Ce film mince de Pt-Hf peut être fabriqué pour présenter des propriétés équivalentes à celles de NiSi par siliciuration.