Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2016208312) LIQUIDE DE RINÇAGE, PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE

Pub. No.:    WO/2016/208312    International Application No.:    PCT/JP2016/065353
Publication Date: Fri Dec 30 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Wed May 25 01:59:59 CEST 2016
IPC: G03F 7/32
G03F 7/20
H01L 21/027
C08F 12/24
G03F 7/038
G03F 7/039
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: TSUBAKI Hideaki
椿 英明
TSUCHIHASHI Toru
土橋 徹
NIHASHI Wataru
二橋 亘
Title: LIQUIDE DE RINÇAGE, PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
Abstract:
Afin d'obtenir à la fois des performances de creux et des performances de crête de motif extrêmement élevées au sein d'un motif fin à haute précision, l'invention concerne : un liquide de rinçage qui est utilisé pour un film de réserve obtenu à partir d'une composition sensible aux rayons actiniques ou sensible au rayonnement, et qui contient un solvant d'hydrocarbures qui présente un groupe alkyle ramifié ; un procédé de formation de motif à l'aide de ce liquide de rinçage ; et un procédé de fabrication de dispositif électronique qui comprend ce procédé de formation de motif.