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1. (WO2016207122) APPAREIL DE SUPPORT, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/207122    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/064236
Date de publication : 29.12.2016 Date de dépôt international : 21.06.2016
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : JEUNINK, Andre, Bernardus; (NL).
DE JONG, Robbert; (NL).
LEENDERS, Martinus, Hendrikus, Antonius; (NL).
PACITTI, Evelyn, Wallis; (NL).
POIESZ, Thomas; (NL).
VAN DEN BERKMORTEL, Frank, Pieter, Albert; (NL)
Mandataire : DUNG, S.; (NL)
Données relatives à la priorité :
15173348.2 23.06.2015 EP
15190337.4 19.10.2015 EP
Titre (EN) SUPPORT APPARATUS, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL DE SUPPORT, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abrégé : front page image
(EN)A support apparatus (60) configured to support an object (W), the support apparatus comprising a support body (100) comprising an object holder (61) to hold an object; an opening (66) in the support body adjacent to an edge of the object holder; a channel (68) in fluid communication with the opening via each of a plurality of passageways (67) in the support body; and a passageway liner (70) mounted in at least one of the plurality of passageways, the passageway liner being thermally insulating substantially to thermally decouple the support body from fluid in the at least one of the plurality of passageways.
(FR)L'invention concerne un appareil de support (60) conçu pour supporter un objet (W), l'appareil de support comprenant un corps de support (100) comprenant un porte-objet (61) pour maintenir un objet ; une ouverture (66) dans le corps de support adjacente à un bord du porte-objet ; un canal (68) en communication fluidique avec l'ouverture par l'intermédiaire de chaque passage d'une pluralité de passages (67) dans le corps de support ; et un revêtement de passage (70) monté dans au moins un passage parmi la pluralité de passages, le revêtement de passage étant thermiquement isolant sensiblement pour découpler thermiquement le corps de support d'un fluide dans ledit passage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)