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1. (WO2016207088) DISPOSITIF DE TRANSPORT POUR UN SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/207088    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/064117
Date de publication : 29.12.2016 Date de dépôt international : 20.06.2016
CIB :
C23C 14/56 (2006.01), C23C 14/50 (2006.01), C23C 16/54 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01), C23C 16/26 (2006.01)
Déposants : AIXTRON SE [DE/DE]; Dornkaulstraße 2 52134 Herzogenrath (DE)
Inventeurs : RUPESINGHE, Nalin Lalith; (GB).
GONCALVES, Goncalo Pedro; (GB).
TEO, Kenneth B. K.; (GB)
Mandataire : GRUNDMANN, Dirk; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2015 110 087.8 23.06.2015 DE
Titre (DE) FÖRDEREINRICHTUNG FÜR EIN SUBSTRAT
(EN) CONVEYOR DEVICE FOR A SUBSTRATE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT POUR UN SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transport eines bandförmigen Substrates (1) durch einen Reaktor (20), wobei das Substrat (1) von Transportelementen (3, 3', 4, 4', 5, 5', 6, 6') gehalten ist, die in einer Transportrichtung (V) von einem Antriebsaggregat (15, 15') verlagerbar sind. Die Transportmittel weisen erste Transportbalken (3, 3', 4, 4') und zweite Transportbalken (5, 5', 6, 6') auf, die in einem zeitlichen Wechsel am Substrat (1) angreifen, wobei die jeweils am Substrat (1) angreifenden Transportbalken in Transportrichtung (V) und die jeweils nicht am Substrat angreifenden Transportbalken in einer Rückwärtsrichtung (R) entgegengesetzt zur Transportrichtung (V) bewegt werden. Es sind paarweise in Transportrichtung (V) jeweils vor und hinter den Reaktor (20) angeordnete Transportschlitten (13, 13', 14, 14') vorgesehen.
(EN)The invention relates to a device for transporting a strip-type substrate (1) through a reactor (20), wherein the substrate (1) is held by transport elements (3, 3', 4, 4', 5, 5', 6, 6') which are displaceable by a drive unit (15, 15') in a transport direction (V). The transport means have first transport beams (3, 3', 4, 4') and second transport beams (5, 5', 6, 6') which engage in alternation on the substrate (1), wherein the transport beams which engage on the substrate (1) are moved in the transport direction (V) and the transport beams which do not engage on the substrate are moved in a reverse direction (R) opposite to the transport direction (V). Transport carriages (13, 13', 14, 14') are provided, which are arranged in pairs in the transport direction (V) respectively upstream and downstream of the reactor (20).
(FR)L'invention concerne un dispositif pour transporter un substrat (1) en forme de bande à travers un réacteur (20), ledit substrat (1) étant maintenu par des éléments de transport (3, 3', 4, 4', 5, 5', 6, 6') pouvant être déplacés dans une direction de transport (V) par un groupe d'entraînement (15, 15'). Les moyens de transport présentent des premières barres de transport (3, 3', 4, 4') et des deuxièmes barres de transport (5, 5', 6, 6') qui viennent en contact alternativement avec le substrat (1), les barres de transport qui sont en contact avec le substrat (1) étant déplacées dans la direction de transport (V) et les barres de transport qui ne sont pas en en contact avec le substrat (1) étant déplacées dans une direction inverse (R) opposée à la direction de transport (V). Des chariots de transport (13, 13', 14, 14') sont placés deux par deux en amont et en aval du réacteur (20) dans la direction de transport (V).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)