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N° de publication : WO/2016/206708 N° de la demande internationale : PCT/EP2015/063937
Date de publication : 29.12.2016 Date de dépôt international : 22.06.2015
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 27.01.2016
CIB :
H01L 21/67 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
Déposants : EV GROUP E. THALLNER GMBH[AT/AT]; 1, DI Erich Thallner Straße 4782 St. Florian am Inn, AT
Inventeurs : MASSA, Felix; AT
ZENGER, Tobias; AT
Mandataire : SCHNEIDER, Sascha; c/o Becker & Müller 22, Turmstraße 40878 Ratingen, DE
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) COATING CHAMBER
(FR) CHAMBRE DE REVÊTEMENT
(DE) BESCHICHTUNGSKAMMER
Abrégé :
(EN) The invention relates to a coating chamber, a mask for said coating chamber, a processing system comprising said coating chamber, and a system for coating substrates.
(FR) L'invention concerne une chambre de revêtement, un diaphragme pour une telle chambre de revêtement, une installation de traitement équipée d'une telle chambre de revêtement ainsi qu'un procédé de revêtement de substrats.
(DE) In Folgenden wird eine Beschichtungskammer, eine Blende für eine solche Beschichtungskammer, eine Bearbeitungsanlage mit einer solchen Beschichtungskammer sowie ein Verfahren zur Beschichtung von Substraten vorgestellt.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)