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1. (WO2016205857) APPAREIL DE PROPAGATION DE PARTICULES ENTRAÎNÉES PAR PLASMA ET PROCÉDÉ DE POMPAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/205857    N° de la demande internationale :    PCT/AU2016/000214
Date de publication : 29.12.2016 Date de dépôt international : 21.06.2016
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    19.01.2017    
CIB :
H05H 1/24 (2006.01), H01J 37/063 (2006.01), C23C 14/00 (2006.01)
Déposants : AURORA LABS PTY LTD [AU/AU]; 16 Alness Street Applecross, WA 6153 (AU)
Inventeurs : BUDGE, David; (AU)
Mandataire : LORD AND COMPANY; PO Box 530 West Perth, Western Australia 6872 (AU)
Données relatives à la priorité :
2015902421 23.06.2015 AU
Titre (EN) PLASMA DRIVEN PARTICLE PROPAGATION APPARATUS AND PUMPING METHOD
(FR) APPAREIL DE PROPAGATION DE PARTICULES ENTRAÎNÉES PAR PLASMA ET PROCÉDÉ DE POMPAGE
Abrégé : front page image
(EN)A charged particle propagation apparatus comprising a generator comprising a vacuum chamber with a gun therein for discharging a charged particle beam from within the vacuum chamber and out of the vacuum chamber through a beam exit disposed in a wall of the vacuum chamber. The apparatus further comprises a higher pressure region adjoining the vacuum chamber at the beam exit that is maintainable at a pressure greater than a pressure of the vacuum chamber and a plasma interface disposed at the beam exit comprising a plasma channel. The plasma channel is aligned with the beam exit, has a first end and a second end and has at least three electrode plates disposed between the first end and the second end. The apparatus further comprises a control system adapted to apply a sequence of electrical currents to the electrode plates. The sequence of electrical currents is configured to cause at least one plasma to move from the first end to the second end of the plasma channel thereby pumping down the beam exit, and, in use, the charged particle beam is propagated from the vacuum chamber through the, or each, plasma in the plasma channel and into the higher pressure region.
(FR)L'invention concerne un appareil de propagation de particules chargées comprenant un générateur comprenant une chambre à vide, un canon se trouvant en son sein afin de décharger un faisceau de particules chargées à partir de l'intérieur de la chambre à vide et hors de la chambre à vide par l'intermédiaire d'une sortie de faisceau ménagée dans une paroi de la chambre à vide. L'appareil comprend en outre une région de pression supérieure, adjacente à la chambre à vide au niveau de la sortie de faisceau, qui peut être maintenue à une pression supérieure à une pression de la chambre à vide et une interface de plasma disposée au niveau de la sortie de faisceau comprenant un canal de plasma. Le canal de plasma est aligné avec la sortie de faisceau, comporte une première extrémité et une seconde extrémité et comporte au moins trois plaques d'électrode disposées entre la première extrémité et la seconde extrémité. L'appareil comprend en outre un système de commande conçu pour appliquer une séquence de courants électriques aux plaques d'électrode. La séquence de courants électriques est conçue pour amener au moins un plasma à passer de la première extrémité à la seconde extrémité du canal de plasma, pompant ainsi en aval de la sortie de faisceau et, en utilisation, le faisceau de particules chargées se propage de la chambre à vide à travers le, ou chaque, plasma dans le canal de plasma et dans la région à pression supérieure.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)