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1. (WO2016205777) EXAMEN DE SITE DE DÉFAUT DE PRÉ-COUCHE À L'AIDE DE LA CONCEPTION

Pub. No.:    WO/2016/205777    International Application No.:    PCT/US2016/038315
Publication Date: Fri Dec 23 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Tue Jun 21 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/66
H01L 21/687
H01L 21/683
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: YATI, Arpit
Title: EXAMEN DE SITE DE DÉFAUT DE PRÉ-COUCHE À L'AIDE DE LA CONCEPTION
Abstract:
L'invention concerne un système et un procédé permettant d'imager une couche d'une tranche sur la base d'une coordonnée d'un défaut dans une pré-couche de la tranche. Un fichier de conception pour la couche actuelle peut être aligné sur la tranche au moyen d'une image de la couche actuelle. Un fichier de conception pour une couche précédente peut être aligné sur le fichier de conception pour la couche actuelle.