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1. (WO2016205409) MÉTHODOLOGIE DE COLORATION HYBRIDE POUR TECHNOLOGIE À MOTIFS MULTIPLES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/205409    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/037684
Date de publication : 22.12.2016 Date de dépôt international : 15.06.2016
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    20.03.2017    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G03F 1/00 (2012.01), G06F 17/50 (2006.01)
Déposants : QUALCOMM INCORPORATED [US/US]; ATTN: International IP Administration 5775 Morehouse Drive San Diego, California 92121-1714 (US)
Inventeurs : CHEN, Xiangdong; (US).
LIM, Hyeokjin Bruce; (US).
KWON, Ohsang; (US).
MALABRY, Mickael; (US).
ZHANG, Jingwei; (US).
STEPHANY, Raymond George; (US).
YANG, Haining; (US).
RIM, Kern; (US).
SONG, Stanley Seungchul; (US).
GUPTA, Mukul; (US).
VANG, Foua; (US)
Mandataire : GELFOUND, Craig A.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/182,168 19.06.2015 US
15/182,510 14.06.2016 US
Titre (EN) HYBRID COLORING METHODOLOGY FOR MULTI-PATTERN TECHNOLOGY
(FR) MÉTHODOLOGIE DE COLORATION HYBRIDE POUR TECHNOLOGIE À MOTIFS MULTIPLES
Abrégé : front page image
(EN)In an aspect of the disclosure, a method, a computer-readable medium, and an apparatus for assigning feature colors for a multiple patterning process are provided. The apparatus receives integrated circuit layout information including a set of features and an assigned color of a plurality of colors for each feature of a first subset of features of the set of features. In addition, the apparatus performs color decomposition on a second subset of features to assign colors to features in the second subset of features. The second subset of features includes features in the set of features that are not included in the first subset of features with an assigned color.
(FR)Un aspect de l'invention concerne un procédé, un support lisible par ordinateur et un appareil permettant d'attribuer des couleurs caractéristiques pour un processus de formation de motifs multiples. L'appareil reçoit des informations de disposition de circuit intégré comprenant un ensemble de caractéristiques et une couleur attribuée d'une pluralité de couleurs pour chaque caractéristique d'un premier sous-ensemble de caractéristiques de l'ensemble de caractéristiques. De plus, l'appareil effectue une décomposition de couleur sur un second sous-ensemble de caractéristiques afin d'attribuer des couleurs à des caractéristiques dans le second sous-ensemble de caractéristiques. Le second sous-ensemble de caractéristiques comprend des caractéristiques dans l'ensemble de caractéristiques qui ne sont pas incluses dans le premier sous-ensemble de caractéristiques avec une couleur attribuée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)