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1. (WO2016205337) SYSTÈME DE COLLECTE DE DONNÉES POUR UNE USINE DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS

Pub. No.:    WO/2016/205337    International Application No.:    PCT/US2016/037584
Publication Date: Fri Dec 23 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu Jun 16 01:59:59 CEST 2016
IPC: G06F 17/40
H01L 21/02
H01L 21/70
G05B 19/418
Applicants: PEEK PROCESS INSIGHTS, INC.
Inventors: PEEK, Benjamin R.
Title: SYSTÈME DE COLLECTE DE DONNÉES POUR UNE USINE DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS
Abstract:
Un système et un procédé permettant de collecter et d'analyser des données en temps réel générées par différents outils de fabrication de semi-conducteurs dans une usine de fabrication de semi-conducteurs, et permettant à un utilisateur d'accéder auxdites données à distance de l'usine de fabrication de semi-conducteurs.