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1. (WO2016204424) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT HYBRIDE POUR PROCÉDÉ PAR VOIE SÈCHE ET PAR VOIE HUMIDE ET SON PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/204424    N° de la demande internationale :    PCT/KR2016/005602
Date de publication : 22.12.2016 Date de dépôt international : 27.05.2016
CIB :
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : ACN CO., LTD. [KR/KR]; 34, Samsung-ro Yeongtong-gu Suwon-si Gyeonggi-do 16681 (KR).
ACM RESEARCH (SHANGHAI) INC. [CN/CN]; Bld. 4, No. 1690 Cailun Road, Zhangjiang, High-Tech Park Shanghai 201203 (CN)
Inventeurs : CHOI, Dai Kyu; (KR).
WANG, Hui; (CN).
WANG, Xi; (CN).
ZHANG, Xiaoyan; (CN).
JIA, Shena; (CN)
Mandataire : KIM, Nam-Jeung; (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2015-0087219 19.06.2015 KR
Titre (EN) HYBRID SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM FOR DRY AND WET PROCESS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD THEREOF
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT HYBRIDE POUR PROCÉDÉ PAR VOIE SÈCHE ET PAR VOIE HUMIDE ET SON PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)The substrate can be selectively transferred by a vacuum or edge grip method according to the process characteristics, using a single substrate transfer robot equipped in the front end module. Additionally, after the process, the substrate can be loaded using the buffer chamber, for the cooling process and transfer of the substrate.
(FR)Le substrat peut être sélectivement transféré par un procédé sous vide ou de préhension de bord selon les caractéristiques du procédé, à l'aide d'un seul robot de transfert de substrat disposé dans le module d'extrémité avant. En outre, après le procédé, le substrat peut être chargé à l'aide de la chambre tampon, pour le procédé de refroidissement et le transfert du substrat.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)