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1. (WO2016204424) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT HYBRIDE POUR PROCÉDÉ PAR VOIE SÈCHE ET PAR VOIE HUMIDE ET SON PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2016/204424    International Application No.:    PCT/KR2016/005602
Publication Date: Fri Dec 23 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Sat May 28 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/02
H01L 21/677
H01L 21/027
Applicants: ACN CO., LTD.
ACM RESEARCH (SHANGHAI) INC.
Inventors: CHOI, Dai Kyu
WANG, Hui
WANG, Xi
ZHANG, Xiaoyan
JIA, Shena
Title: SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT HYBRIDE POUR PROCÉDÉ PAR VOIE SÈCHE ET PAR VOIE HUMIDE ET SON PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abstract:
Le substrat peut être sélectivement transféré par un procédé sous vide ou de préhension de bord selon les caractéristiques du procédé, à l'aide d'un seul robot de transfert de substrat disposé dans le module d'extrémité avant. En outre, après le procédé, le substrat peut être chargé à l'aide de la chambre tampon, pour le procédé de refroidissement et le transfert du substrat.