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1. (WO2016204386) VANNE DE DÉPRESSION À GRILLE RECTANGULAIRE ET APPAREIL DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS COMPRENANT CETTE DERNIÈRE

Pub. No.:    WO/2016/204386    International Application No.:    PCT/KR2016/002986
Publication Date: Fri Dec 23 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Fri Mar 25 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 21/02
H01L 21/677
Applicants: FUGEN CO.,LTD.
주식회사 퓨젠
Inventors: AHN, Heejun
안희준
KIM, Jootaek
김주택
Title: VANNE DE DÉPRESSION À GRILLE RECTANGULAIRE ET APPAREIL DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS COMPRENANT CETTE DERNIÈRE
Abstract:
La présente invention concerne une vanne de dépression à grille rectangulaire et un appareil de fabrication de semi-conducteurs comprenant cette dernière. La vanne de dépression à grille rectangulaire selon la présente invention comprend : un châssis de grille ayant une première grille et une seconde grille sur deux surfaces latérales se faisant mutuellement face de celui-ci; une plaque de recouvrement destinée à recouvrir la partie supérieure du châssis de grille; une première unité de vanne pour ouvrir ou fermer sélectivement la première grille, la première unité de vanne étant disposée de manière à pouvoir se déplacer de manière linéaire dans le châssis de grille, ou de tourner, à travers une première ouverture prévue sur un côté de la partie inférieure du châssis de grille; et une seconde unité de vanne pour ouvrir ou fermer sélectivement la seconde grille, la seconde unité de vanne étant disposée de manière à pouvoir se déplacer de manière linéaire dans le châssis de grille, ou de tourner, à travers une seconde ouverture prévue sur l'autre côté de la partie inférieure du châssis de grille et espacée de la première ouverture.