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1. (WO2016204062) DISPOSITIF DE MESURE DE FORME ET DISPOSITIF DE REVÊTEMENT ÉQUIPÉ DE CELUI-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2016/204062 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/067190
Date de publication : 22.12.2016 Date de dépôt international : 09.06.2016
CIB :
G01B 11/24 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01)
Déposants : NTN CORPORATION[JP/JP]; 3-17, Kyomachibori 1-chome, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500003, JP
Inventeurs : OHBA, Hiroaki; JP
Mandataire : FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.; Nakanoshima Central Tower, 2-7, Nakanoshima 2-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300005, JP
Données relatives à la priorité :
2015-12286418.06.2015JP
2016-09961718.05.2016JP
Titre (EN) SHAPE MEASUREMENT DEVICE AND COATING DEVICE EQUIPPED WITH SAME
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE FORME ET DISPOSITIF DE REVÊTEMENT ÉQUIPÉ DE CELUI-CI
(JA) 形状測定装置およびそれを搭載した塗布装置
Abrégé : front page image
(EN) Provided is a shape measurement device in which a control device (6) controls a piezo stage (5) and an imaging device (4), captures an image at each of a plurality of positions (h) while moving an interferometer (3) in an optical axis direction, determines a degree of separation (R) for a brightness histogram of the pixels of each image by discriminant analysis, arranges the piezo stage (5) in a position (hf) corresponding to the image having the maximum value (Rmax) for the degree of separation (R) among the plurality of images, and thereby arranges the focus (P1) of the interferometer (3) on the surface of an object (7). As a result, it is possible to easily match the focus (P1) of the interferometer (3) to the surface of the object (7).
(FR) La présente invention concerne un dispositif de mesure de forme dans lequel un dispositif de commande (6) commande un étage piézo-électrique (5) et un dispositif d'imagerie (4), capture une image à chacune d'une pluralité de positions (h) tout en déplaçant un interféromètre (3) dans une direction d'axe optique, détermine un degré de séparation (R) pour un histogramme de luminosité des pixels de chaque image par analyse discriminante, agence l'étage piézo-électrique (5) à une position (hf) correspondant à l'image ayant la valeur maximale (Rmax) pour le degré de séparation (R) parmi la pluralité d'images, et agence ainsi le foyer (P1) de l'interféromètre (3) sur la surface d'un objet (7). En conséquence, il est possible d’ajuster aisément la mise au point (P1) de l'interféromètre (3) à la surface de l'objet (7).
(JA) 形状測定装置の制御装置(6)は、ピエゾステージ(5)および撮像装置(4)を制御し、干渉計(3)を光軸方向に移動させながら複数の位置(h)でそれぞれの画像を撮影し、各画像の画素の輝度ヒストグラムについて判別分析法による分離度(R)を求め、複数の画像のうちの分離度(R)が最大値(Rmax)になる画像に対応する位置(hf)にピエゾステージ(5)を配置することにより、干渉計(3)の焦点(P1)を対象物(7)の表面に配置する。したがって、干渉計(3)の焦点(P1)を対象物(7)の表面に容易に合わせることができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)