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1. (WO2016203668) DISPOSITIF DE MESURE TRIDIMENSIONNELLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/203668    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/082098
Date de publication : 22.12.2016 Date de dépôt international : 16.11.2015
CIB :
G01B 11/02 (2006.01)
Déposants : CKD CORPORATION [JP/JP]; 250, Ouji 2-chome, Komaki-shi, Aichi 4858551 (JP)
Inventeurs : OHYAMA Tsuyoshi; (JP).
SAKAIDA Norihiko; (JP).
MAMIYA Takahiro; (JP).
ISHIGAKI Hiroyuki; (JP)
Mandataire : KAWAGUCHI Mitsuo; (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-120129 15.06.2015 JP
Titre (EN) THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE TRIDIMENSIONNELLE
(JA) 三次元計測装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a three-dimensional measurement device that, when measuring height using a phase shift method, uses light of a plurality of differing periods to broaden a measurement range and shorten a measurement time. A substrate inspection device 1 is provided with an illumination device 4 capable of irradiating two light patterns onto a printed circuit board 2 from diagonally above, a camera 5 for imaging the part of the printed circuit board 2 onto which the light patterns are irradiated, and a control device 6 for carrying out various control, image processing, and calculation in the substrate inspection device 1. The control device 6 acquires a first height measurement value from image data obtained from the irradiation of a first light pattern having a first period and acquires gain and offset values from the image data. Next, the control device 6 uses the gain and offset values to acquire a second height measurement value from image data obtained by irradiating a second light pattern having a second period. The control device 6 acquires height data specified on the basis of the first measurement value and second measurement value as true height data.
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure tridimensionnelle qui, lors de la mesure de hauteur à l'aide d'un procédé de changement de phase, utilise la lumière d'une pluralité de périodes différentes pour élargir une plage de mesure et raccourcir un temps de mesure. Un dispositif d'inspection (1) de substrat est pourvu d'un dispositif d'éclairage (4) susceptible d'éclairer deux motifs lumineux sur une carte de circuit imprimé (2) à partir de la partie située au-dessus en diagonale, un appareil de prise de vues (5) pour former l'image de la partie de la carte de circuit imprimé (2) sur laquelle sont diffusés les motifs lumineux, et un dispositif de commande (6) pour la réalisation de commandes, traitements d'images et calculs variés dans le dispositif d'inspection (1) de substrat. Le dispositif de commande (6) acquiert une première valeur de mesure de hauteur à partir de données d'image obtenues à partir de la diffusion d'un premier motif de lumière ayant une première période et acquiert les valeurs de gain et de décalage à partir des données d'image. Ensuite, le dispositif de commande (6) utilise les valeurs de gain et de décalage pour acquérir une seconde valeur de mesure de hauteur à partir de données d'image obtenues par la diffusion d'un second motif de lumière ayant une seconde période. Le dispositif de commande (6) acquiert des données de hauteur spécifiées sur la base de la première valeur de mesure et de la seconde valeur de mesure comme données de hauteur réelle.
(JA)位相シフト法を利用して高さ計測を行うにあたり、周期の異なる複数の光を利用して計測レンジの拡大を図ると共に、計測時間の短縮化を図る三次元計測装置を提供する。基板検査装置1は、プリント基板2に対し斜め上方から2種類の光パターンを照射可能な照明装置4と、プリント基板2上の光パターンの照射された部分を撮像するカメラ5と、基板検査装置1内における各種制御や画像処理、演算処理を実施する制御装置6とを備えている。制御装置6は、第1周期の第1光パターンを照射して得られた画像データを基に第1高さ計測値を取得し、該画像データからゲイン及びオフセットの値を取得する。続いて、第2周期の第2光パターンを照射して得られた画像データを基に、前記ゲインやオフセットの値を利用して第2高さ計測値を取得する。そして、第1計測値及び第2計測値から特定される高さデータを、真の高さデータとして取得する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)