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1. (WO2016202998) CAPTEUR DE PRESSION ATMOSPHERIQUE PAR EFFET PIRANI, ET PROCEDE DE CONCEPTION ET FABRICATION
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N° de publication : WO/2016/202998 N° de la demande internationale : PCT/EP2016/064047
Date de publication : 22.12.2016 Date de dépôt international : 17.06.2016
CIB :
G01L 9/00 (2006.01) ,G01L 11/00 (2006.01) ,G01L 19/06 (2006.01)
Déposants : UNIVERSITE PARIS-SUD[FR/FR]; 15 rue Georges Clemenceau 91400 Orsay, FR
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE[FR/FR]; 3 rue Michel-Ange 75016 Paris, FR
Inventeurs : LECOEUR, Philippe; FR
LEFEUVRE, Elie; FR
AGNUS, Guillaume; FR
GUERRERO, Ruben; ES
LE BOURDAIS, David; FR
Mandataire : PONTET ALLANO & ASSOCIES; Parc Les Algorithmes Bâtiment Platon CS 70003 Saint-Aubin 91192 Gif Sur Yvette cedex, FR
Données relatives à la priorité :
155560518.06.2015FR
Titre (EN) ATMOSPHERIC PRESSURE SENSOR USING THE PIRANI EFFECT AND DESIGN AND PRODUCTION METHOD
(FR) CAPTEUR DE PRESSION ATMOSPHERIQUE PAR EFFET PIRANI, ET PROCEDE DE CONCEPTION ET FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN) The invention relates to a sensor made up of a Pirani gauge for measuring gas pressure. A gas-tight enclosure, of which the outer surface is exposed to the tested gas, encloses a gaseous inner environment which surrounds the sensing element 31 of a Pirani gauge. This enclosure has a structure which is elastically deformable by the pressure difference between the inside and outside pressure. The behaviour of the gauge depends on the inside pressure, which depends on the outside pressure according to a transfer function, thus providing a measurement of the outside pressure. This transfer function depends on the rigidity of the housing, on the space and on the inside pressure. This enclosure includes, for example, a housing in the form of a deformable bellows 21 or a flexible membrane housing. It can include an additional element providing a reduction of the inside space in order to modify this transfer function. The invention also provides a method for manufacturing such a sensor.
(FR) L'invention propose un capteur à base de jauge Pirani pour mesurer la pression gazeuse. Une enceinte étanche aux gaz, dont la surface extérieure est exposée au gaz testé, renferme un environnement intérieur gazeux entourant l'élément sensible 31 d'une jauge Pirani. Cette enceinte présente une structure élastiquement déformable par la différence de pression entre pression intérieure et extérieure. Le comportement de la jauge dépend de la pression intérieure, laquelle dépend de la pression extérieure selon une fonction de transfert, fournissant ainsi une mesure de la pression extérieure. Cette fonction de transfert dépend de la raideur du boîtier, du volume et de la pression intérieure. Cette enceinte comprend par exemple un boîtier en forme de soufflet déformable 21 ou un boîtier à membrane souple. Elle peut inclure un élément supplémentaire fournissant une réduction du volume intérieur pour modifier cette fonction de transfert. L'invention propose en outre un procédé de réalisation d'un tel capteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)