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1. (WO2016202790) CONVERTISSEUR MEMS DESTINÉ À INTERAGIR AVEC UN DÉBIT VOLUMIQUE D'UN FLUIDE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/202790 N° de la demande internationale : PCT/EP2016/063611
Date de publication : 22.12.2016 Date de dépôt international : 14.06.2016
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 10.03.2017
CIB :
H04R 19/00 (2006.01) ,B81C 1/00 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
04
TECHNIQUE DE LA COMMUNICATION ÉLECTRIQUE
R
HAUT-PARLEURS, MICROPHONES, TÊTES DE LECTURE POUR TOURNE-DISQUES OU TRANSDUCTEURS ACOUSTIQUES ÉLECTROMÉCANIQUES ANALOGUES; APPAREILS POUR SOURDS; SYSTÈMES D'ANNONCE EN PUBLIC
19
Transducteurs électrostatiques
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
C
PROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1
Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
Déposants :
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
Inventeurs :
SCHENK, Harald; DE
CONRAD, Holger; DE
GAUDET, Matthieu; DE
SCHIMMANZ, Klaus; DE
LANGA, Sergiu; DE
KAISER, Bert; DE
Mandataire :
SCHENK, Markus; DE
Données relatives à la priorité :
10 2015 210 919.415.06.2015DE
Titre (EN) MEMS TRANSDUCER FOR INTERACTING WITH A VOLUME FLOW OF A FLUID AND METHOD FOR PRODUCING SAME
(FR) CONVERTISSEUR MEMS DESTINÉ À INTERAGIR AVEC UN DÉBIT VOLUMIQUE D'UN FLUIDE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI
(DE) MEMS-WANDLER ZUM INTERAGIEREN MIT EINEM VOLUMENSTROM EINES FLUIDS UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN
Abrégé :
(EN) The invention relates to a MEMS transducer for interacting with a volume flow of a fluid, comprising a substrate having a cavity, and an electromechanical transducer which is connected to the substrate in the cavity and has an element which can be deformed along a lateral movement direction. A deformation of the deformable element along the lateral movement direction and the volume flow of the fluid are causally related.
(FR) L'invention concerne un convertisseur MEMS destiné à interagir avec un débit volumique d'un fluide, comprenant un substrat qui possède une cavité et un convertisseur électromécanique qui est relié au substrat dans la cavité et qui possède un élément déformable le long d'une direction de mouvement latérale. Une déformation de l'élément déformable le long de la direction de mouvement latérale et le débit volumique du fluide se trouvent en relation causale.
(DE) Ein MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids umfasst eine Substrat, das eine Kavität aufweist und einen elektromechanischen Wandler, der in der Kavität mit dem Substrat verbunden ist und ein sich entlang einer lateralen Beweg ungsrichtung verformbares Element aufweist, wobei eine Verformung des verformbaren Elements entlang der lateralen Bewegungsrichtung und der Volumenstrom des Fluids kausal zusammenhängen.
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Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)