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1. (WO2016202621) APPAREIL COMPRENANT UNE JAUGE DE GAZ ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT CORRESPONDANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2016/202621 N° de la demande internationale : PCT/EP2016/062778
Date de publication : 22.12.2016 Date de dépôt international : 06.06.2016
CIB :
G01B 13/12 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : ASML HOLDING N.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
ASML NETHERLANDS B.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs : LYONS, Joseph, Harry; US
REIJNEN, Martinus, Cornelis; NL
ARLEMARK, Erik, Johan; NL
UNGUREANU, Nicolae, Marian; US
WALSH, James Hamilton; US
Mandataire : SLENDERS, Peter; NL
Données relatives à la priorité :
62/181,46518.06.2015US
62/202,65107.08.2015US
Titre (EN) AN APPARATUS INCLUDING A GAS GAUGE AND METHOD OF OPERATING THE SAME
(FR) APPAREIL COMPRENANT UNE JAUGE DE GAZ ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT CORRESPONDANT
Abrégé : front page image
(EN) An apparatus, such as a lithographic apparatus, has a metrology frame that has a reference frame mounted thereon that includes a reference surface. A gas gauge is movable relative to the reference frame, metrology frame, and a measured surface. A reference nozzle in the gas gauge provides gas to the reference surface and a measurement nozzle provides has to the measured surface. A MEMs sensor may be used with the gas gauge to sense a difference in backpressure from each of the reference nozzle and the measurement nozzle. Optionally, multiple gas gauges are positioned in an array, which may extend in a direction that is substantially parallel to a plane of the measured surface. The gauges may be fluidly connected to a reference nozzle of the gas gauge. A channel may distribute gas across the array.
(FR) L'invention concerne un appareil, tel qu'un appareil lithographique, comprenant un cadre de métrologie comportant un cadre de référence monté sur celui-ci qui comprend une surface de référence. Une jauge de gaz est mobile par rapport au cadre de référence, au cadre de métrologie, et à une surface mesurée. Une buse de référence dans la jauge de gaz fournit du gaz à la surface de référence et une buse de mesure fournit du gas à la surface mesurée. Un capteur MEMs peut être utilisé avec la jauge de gaz pour détecter une différence dans la contre-pression de chacune de la buse de référence et de la buse de mesure. Éventuellement, plusieurs jauges de gaz sont positionnées selon un réseau, qui peut s'étendre dans une direction qui est sensiblement parallèle à un plan de la surface mesurée. Les jauges peuvent être reliées de manière fluidique à une buse de référence de la jauge de gaz. Un canal peut distribuer du gaz sur le réseau.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)