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1. (WO2016202612) PROCÉDÉS DE DÉTERMINATION ET DE COMPENSATION DES ERREURS GÉOMÉTRIQUES D'IMAGERIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/202612 N° de la demande internationale : PCT/EP2016/062644
Date de publication : 22.12.2016 Date de dépôt international : 03.06.2016
CIB :
G02B 21/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
21
Microscopes
Déposants : CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH[DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena, DE
Inventeurs : ANHUT, Tiemo; DE
HAASE, Daniel; DE
KLEMM, Frank; DE
ROSCHER, Burkhard; DE
SCHWEDT, Daniel; DE
KAUFHOLD, Tobias; DE
Mandataire : PATENTANWÄLTE GEYER, FEHNERS & PARTNER MBB; Sellierstraße 1 07745 Jena, DE
Données relatives à la priorité :
10 2015 109 674.917.06.2015DE
Titre (EN) METHOD FOR DETERMINING AND COMPENSATING FOR GEOMETRIC ABERRATIONS
(FR) PROCÉDÉS DE DÉTERMINATION ET DE COMPENSATION DES ERREURS GÉOMÉTRIQUES D'IMAGERIE
(DE) VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG UND KOMPENSATION GEOMETRISCHER ABBILDUNGSFEHLER
Abrégé :
(EN) The invention relates to a method for determining and compensating for geometric aberrations which occur during the imaging of an object by sequential single- or multi-spot scanning by means of a microscopic imaging system, said method comprising the following steps: - defining a reference object having a defined planar structure, - generating an electronic image data record of said structure that is free of geometric aberrations; - generating at least one electronic actual image data record by means of the imaging system; - comparing the actual image data record with the reference image data record with respect to the location of each of the image points which have the same object point as their origin, - determining local deviations in the actual image data record with respect to the reference image data record, - storing ascertained local deviations as correction data - compensating the geometric aberrations by correcting the local deviations in the actual image data record on the basis of the correction data.
(FR) L'invention concerne des procédés de détermination et de compensation des erreurs géométriques d'imagerie, qui apparaissent lors de l'imagerie d'un objet par balayage séquentiel à un seul faisceau ou à faisceaux multiples au moyen d'un système d'imagerie microscopique, comprenant les étapes de procédé suivantes : la fixation d'un objet de référence ayant une structure plane définie; la production d'un jeu de données d'images électroniques de cette structure qui est dépourvu d'erreurs géométriques d'imagerie; la production d'au moins un jeu de données d'images réelles électroniques avec le système d'imagerie; la comparaison du jeu de données d'images réelles avec le jeu de données d'images de référence en ce qui concerne les endroits des points de l'image qui ont comme origine respectivement le même point d'objet; la détermination des écarts d'endroits dans le jeu de données d'images réelles par rapport au jeu de données d'images de référence; le stockage des écarts d'endroits déterminés sous forme de données correctives; la compensation des erreurs géométriques d'imagerie par correction des écarts d'endroits dans le jeu de données d'images réelles à l'aide des données correctives.
(DE) Die Erfindung betrifft Verfahren zur Bestimmung und Kompensation von geometrischen Abbildungsfehlern, die bei der Abbildung eines Objektes durch sequentielle Einzel- oder Multispotabtastung mittels eines mikroskopischen Abbildungssystems entstehen, umfassend folgende Verfahrensschritte: - Festlegen eines Bezugsobjektes mit einer definierten ebenen Struktur, - Erzeugung eines von geometrischen Abbildungsfehlern freien elektronischen Bilddatensatzes dieser Struktur, - Erzeugen mindestens eines elektronischen Ist-Bilddatensatzes mit dem Abbildungssystem, - Vergleichen des Ist-Bilddatensatzes mit dem Referenz-Bilddatensatz bezüglich der Orte derjenigen Bildpunkte, die jeweils denselben Objektpunkt als Ursprung haben, - Bestimmen von Orts-Abweichungen im Ist-Bilddatensatz gegenüber dem Referenz-Bilddatensatz, - Speichern ermittelter Orts-Abweichungen als Korrektionsdaten, - Kompensation der geometrischen Abbildungsfehler durch Korrektur der Orts-Abweichungen im Ist-Bilddatensatz anhand der Korrektionsdaten.
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Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)