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1. (WO2016201361) APPAREIL PERMETTANT DE DÉTECTER UN NIVEAU D'UN MILIEU DE TRAITEMENT DANS UN APPAREIL DE DISTRIBUTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/201361    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/037073
Date de publication : 15.12.2016 Date de dépôt international : 10.06.2016
CIB :
G01N 1/22 (2006.01), G01N 1/24 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : GUNGOR, Faruk; (US)
Mandataire : TABOADA, Alan; (US)
Données relatives à la priorité :
62/175,037 12.06.2015 US
Titre (EN) APPARATUS FOR SENSING A LEVEL OF A PROCESSING MEDIUM IN A DELIVERY APPARATUS
(FR) APPAREIL PERMETTANT DE DÉTECTER UN NIVEAU D'UN MILIEU DE TRAITEMENT DANS UN APPAREIL DE DISTRIBUTION
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments of apparatus for sensing a level of a processing medium in a chemical delivery apparatus are provided herein. In some embodiments, a chemical delivery apparatus includes: a support structure; a container coupled to the support structure to hold a chemical precursor within an interior of the container; an excitation source configured to cause vibrations in an exterior surface of the container; and a measurement device configured to measure a frequency of the vibrations.
(FR)La présente invention porte, dans certains modes de réalisation, sur un appareil permettant de détecter un niveau d'un milieu de traitement dans un appareil de distribution de produits chimiques. Selon certains modes de réalisation, un appareil de distribution de produits chimiques comprend : une structure de support ; un récipient couplé à la structure de support pour contenir un précurseur chimique à l'intérieur du récipient ; une source d'excitation configurée de sorte à provoquer des vibrations dans une surface extérieure du récipient ; et un dispositif de mesure configuré de sorte à mesurer une fréquence des vibrations.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)