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1. (WO2016200538) DISPOSITIF À SYSTÈMES ÉLECTROMÉCANIQUES AYANT DES CHARNIÈRES POUR RÉDUIRE L'INSTABILITÉ D'INCLINAISON

Pub. No.:    WO/2016/200538    International Application No.:    PCT/US2016/031856
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu May 12 01:59:59 CEST 2016
IPC: G02B 26/00
Applicants: QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC.
Inventors: LEE, Bor-Shiun
LIN, Hung-Yi
LEE, Chih-Chun
HSIAO, Sheng-Yi
Title: DISPOSITIF À SYSTÈMES ÉLECTROMÉCANIQUES AYANT DES CHARNIÈRES POUR RÉDUIRE L'INSTABILITÉ D'INCLINAISON
Abstract:
La présente invention concerne des systèmes, des procédés et des appareils pour réduire l'instabilité d'inclinaison dans un dispositif à systèmes électromécaniques (EMS), le dispositif à EMS comprenant une pluralité de charnières portant un miroir mobile sur une électrode stationnaire et ayant des longueurs de charnières identiques. Le dispositif à EMS peut comprendre une pluralité de premiers points d'ancrage assurant une connexion au substrat et une pluralité de second points d'ancrage assurant une connexion au miroir mobile. Chacune des charnières peut être positionnée entre des premier et second points d'ancrage appairés et agencées de manière symétrique autour du centre du miroir mobile. Dans certains modes de réalisation, la pluralité de premiers points d'ancrage et la pluralité de second points d'ancrage peut être définie par un masque unique.