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1. (WO2016199333) DISPOSITIF D'USINAGE DE PIÈCE
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N° de publication : WO/2016/199333 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/001740
Date de publication : 15.12.2016 Date de dépôt international : 25.03.2016
CIB :
B24B 37/08 (2012.01) ,B24B 37/28 (2012.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : SHIN-ETSU HANDOTAI CO.,LTD.[JP/JP]; 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004, JP
Inventeurs : YASUDA, Taichi; JP
SASAKI, Masanao; JP
Mandataire : YOSHIMIYA, Mikio; JP
Données relatives à la priorité :
2015-11933812.06.2015JP
Titre (EN) WORKPIECE MACHINING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'USINAGE DE PIÈCE
(JA) ワークの加工装置
Abrégé : front page image
(EN) Provided is a workpiece machining device that has: a center drum that can rotate around a rotation shaft and has at least one first groove formed in the shaft direction in the outer peripheral surface; a carrier that has a holding hole into which a workpiece to be machined is inserted and held; an upper surface plate and a lower surface plate that can rotate around the rotation shaft in a state in which the carrier holding the workpiece is interposed between the upper surface plate and the lower surface plate; and at least one hook that is attached to the inner peripheral part of the upper surface plate and can move a tip part inserted into a first groove along the first groove. The center drum has at least one second groove formed in the shaft direction in the outer peripheral surface. The second groove has a different length than the first groove, and has a support surface that supports the hook from below at a position at which the upper surface plate is above the position at which the workpiece is machined. As a result, when the upper surface plate is stopped at a position that is above the position at which the workpiece is machined, the upper surface plate can be maintained at horizontal even when a force in the vertical direction acts on a grinding surface of the upper surface plate.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'usinage de pièce qui comprend : un tambour central qui peut tourner autour d'un arbre de rotation et a au moins une première rainure formée dans la direction d'arbre dans la surface périphérique externe ; un support qui a un trou de maintien dans lequel une pièce à usiner est insérée et maintenue ; une plaque de surface supérieure et une plaque de surface inférieure qui peuvent tourner autour de l'arbre de rotation dans un état dans lequel le support maintenant la pièce est interposé entre la plaque de surface supérieure et la plaque de surface inférieure ; et au moins un crochet qui est fixé à la partie périphérique interne de la plaque de surface supérieure et peut déplacer une partie d'extrémité insérée dans une première rainure le long de la première rainure. Le tambour central a au moins une seconde rainure formée dans la direction d'arbre dans la surface périphérique externe. La seconde rainure a une longueur différente de la première rainure, et a une surface de support qui supporte le crochet depuis le dessous au niveau d'une position dans laquelle la plaque de surface supérieure est au-dessus de la position dans laquelle la pièce est usinée. En conséquence, lorsque la plaque de surface supérieure est arrêtée au niveau d'une position qui est au-dessus de la position dans laquelle la pièce est usinée, la plaque de surface supérieure peut être maintenue à l'horizontale, même lorsqu'une force dans la direction verticale agit sur une surface de broyage de la plaque de surface supérieure.
(JA) 本発明は、外周面に軸方向に形成された少なくとも1つの第1の溝を有する回転軸周りに回転可能なセンタードラムと、加工するワークを挿入して保持する保持孔を有するキャリアと、ワークを保持したキャリアを挟んだ状態で、回転軸周りに回転可能な上定盤及び下定盤と、上定盤の内周部に取り付けられ、第1の溝に挿入した先端部を第1の溝に沿って移動可能な少なくとも1つのフックを有するワークの加工装置であって、センタードラムは、さらに、外周面に軸方向に形成された少なくとも1つの第2の溝を有し、該第2の溝は、第1の溝と異なる長さを有し、上定盤がワークの加工を行う位置よりも上方となる位置で、フックを下方から支持する支持面を有するワークの加工装置である。これにより、ワークの加工を行う位置よりも上方となる位置で上定盤を停止させた際に、上定盤の研磨面に対して垂直方向の力が作用しても、上定盤を水平に維持することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)