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1. (WO2016198694) MICROSCOPE À BALAYAGE

Pub. No.:    WO/2016/198694    International Application No.:    PCT/EP2016/063509
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Tue Jun 14 01:59:59 CEST 2016
IPC: G02B 21/00
G02B 5/28
Applicants: LEICA MICROSYSTEMS CMS GMBH
Inventors: GUGEL, Hilmar
NEUGART, Felix
BÖHM, Ingo
Title: MICROSCOPE À BALAYAGE
Abstract:
L’invention concerne un microscope à balayage (20) comportant un objectif (48) disposé sur un trajet de faisceau d'éclairement (26) et destiné à focaliser un faisceau de lumière d'éclairement (24) sur un échantillon (52), une unité de balayage (38) disposée en amont de l’objectif (48) dans le trajet de faisceau d'éclairement (26) et destinée à dévier le faisceau de lumière d'éclairement (24) de telle sorte que le faisceau de lumière d'éclairement (24), focalisé par l’objectif (48), effectue un mouvement de balayage sur l'échantillon (52), et une unité de détection (58) disposée dans trajet de faisceau de détection (66) et destinée à recevoir un faisceau de lumière de détection (54) non déviée par l’unité de balayage. L'unité de détection contient, pour influer spectralement sur le faisceau de lumière de détection (54), au moins un élément (10) spectralement sélectif qui possède une face active (12) pourvue d’une arête spectrale qui varie avec la position d'incidence du faisceau de lumière de détection (54) sur la face active (12). La face active (12) du composant (10) spectralement sélectif est disposée dans le trajet de faisceau de détection (66) à l'emplacement d'une image d'une pupille de l'objectif (50). En variante, la face active (12) est disposée à un emplacement où une variation de l'arête spectrale de la face active, due à une variation, générée par le mouvement de balayage du faisceau de lumière d'éclairement (24), de l'angle d'incidence du faisceau de lumière de détection sur la face active, est compensée au moins partiellement par une variation opposée de l’arête spectrale de la face active (12) qui est due à une variation de l’emplacement où le faisceau de lumière de détection (54) est incident à la face active (12).