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1. (WO2016198542) HÉTÉROSTRUCTURE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2016/198542    International Application No.:    PCT/EP2016/063198
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Fri Jun 10 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 41/08
H01L 41/312
Applicants: SOITEC
Inventors: CASTEX, Arnaud
DELPRAT, Daniel
ASPAR, Bernard
RADU, Ionut
Title: HÉTÉROSTRUCTURE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
La présente invention porte sur une hétérostructure, en particulier une structure piézoélectrique, comprenant une couche de recouvrement, en particulier une couche de matériau piézoélectrique, le matériau de la couche de recouvrement possédant un premier coefficient de dilatation thermique, assemblée à un substrat de support, le substrat de support possédant un second coefficient de dilatation thermique sensiblement différent du premier coefficient de dilatation thermique, au niveau d'une interface, la couche de recouvrement comprenant au moins un évidement s'étendant dans la couche de recouvrement à partir de l'interface, et sur son procédé de fabrication.