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1. (WO2016197426) DISPOSITIF DE NETTOYAGE PAR ULTRAVIOLETS DE SUBSTRAT EN VERRE

Pub. No.:    WO/2016/197426    International Application No.:    PCT/CN2015/083067
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu Jul 02 01:59:59 CEST 2015
IPC: B08B 11/00
B08B 7/00
Applicants: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.
深圳市华星光电技术有限公司
Inventors: YAO, Jiangbo
姚江波
Title: DISPOSITIF DE NETTOYAGE PAR ULTRAVIOLETS DE SUBSTRAT EN VERRE
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif de nettoyage par ultraviolets d'un substrat en verre comprenant : un boîtier de lampe (1), une lampe à ultraviolets (2) disposée au-dessus à l'intérieur du boîtier de lampe (1), un écran transparent (3) disposé au-dessous de la lampe à ultraviolets (2), un humidificateur (4) disposé au-dessous de l'écran transparent (3), et un dispositif d'échappement d'air intensif (5) disposé au-dessous de l'écran transparent (3) et également opposé à l'humidificateur (4). Lorsque le dispositif de nettoyage par ultraviolets est en cours d'utilisation, un substrat en verre (6) est distribué à l'intérieur du boîtier de lampe (1), la lumière ultraviolette émise par la lampe à ultraviolets (2) traverse l'écran (3) pour irradier et ainsi nettoyer le substrat en verre (6) ; l'humidité et la teneur en oxygène dans le boîtier de lampe (1) sont réglées par l'intermédiaire de l'humidificateur (4) de sorte qu'une couche de molécules d'eau sont adsorbées à la surface du substrat en verre (6), les électrons qui sont générés pendant le nettoyage à sec avec de la lumière ultraviolette peuvent graduellement être conduits et fuir à travers les molécules d'eau, de sorte que l'accumulation d'électricité statique peut être efficacement supprimée et le phénomène des dégâts causés par l'électricité statique peut être atténué ; pendant ce temps, une augmentation de la teneur en oxygène conduit à une concentration accrue d'atomes d'oxygène actif à l'intérieur du boîtier de lampe (1), ce qui améliore en conséquence l'effet de nettoyage par ultraviolets pour les substances organiques.