WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2016197279) PROCÉDÉ DE DÉTECTION ABSOLUE POUR ERREURS DE FORME DE SURFACE DE MIROIR SPHÉRIQUE ET DE MIROIR PLAN
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/197279    N° de la demande internationale :    PCT/CN2015/000614
Date de publication : 15.12.2016 Date de dépôt international : 31.08.2015
CIB :
G01B 11/24 (2006.01)
Déposants : CHANGCHUN INSTITUTE OF OPTICS, FINE MECHANICS AND PHYSICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCE [CN/CN]; LIU, Huiyu No.3888 Dongnanhudalu Changchun, Jilin 130033 (CN)
Inventeurs : MIAO, Liang; (CN).
MA, Dongmei; (CN).
JIN, Chunshui; (CN).
LIU, Yu; (CN).
ZHANG, Wenlong; (CN).
ZHANG, Haitao; (CN).
YU, Jie; (CN)
Mandataire : CHANGCHUN JINGHUA PATENT TRADEMARK AGENT LAW OFFICE; (CN)
Données relatives à la priorité :
201510318637.X 09.06.2015 CN
Titre (EN) ABSOLUTE DETECTION METHOD FOR SURFACE SHAPE ERROR OF SPHERICAL MIRROR AND PLANAR MIRROR
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION ABSOLUE POUR ERREURS DE FORME DE SURFACE DE MIROIR SPHÉRIQUE ET DE MIROIR PLAN
(ZH) 球面镜和平面镜面形误差的绝对检测方法
Abrégé : front page image
(EN)An absolute detection method for a surface shape error of a spherical mirror and a planar mirror, which falls within the technical field of optical interferometry, and is used for solving the problem that it is difficult to simultaneously realize a high spatial resolution and a low noise transfer coefficient when absolute detection is performed on the surface shape error of a spherical mirror and a planar mirror. The method comprises: realizing high-resolution absolute detection of most rotating asymmetric surface shape errors by means of wave surface averaging and wave surface subtraction of a plurality of rotation position detection results; forming finite difference equations by means of wave surface subtraction of detection results of two translation positions and an arbitrary rotation position, and realizing high-resolution absolute detection of rotating symmetric surface shape errors and the remaining rotating asymmetric surface shape errors by solving the difference equations through a wave surface reconstruction algorithm based on the least square fitting principle; and increasing the translation amount during translation detection, and decomposing the wave surface having a surface shape error of a detected mirror into a plurality of mutually intersecting sub-wave surfaces to perform wave surface reconstruction respectively, so that the noise transfer coefficient of the wave surface reconstruction algorithm is reduced.
(FR)La présente invention concerne un procédé de détection absolue pour une erreur de forme de surface d’un miroir sphérique et d’un miroir plan, qui appartient au domaine technique de l’interférométrie optique, et est utilisée pour résoudre le problème selon lequel il est difficile de réaliser simultanément une résolution spatiale élevée et un coefficient de transfert de bruit faible lorsqu’une détection absolue est effectuée sur l’erreur de forme de surface d’un miroir sphérique et d’un miroir plan. Le procédé comprend : la réalisation d’une détection absolue à haute résolution d’erreurs de forme de surface les plus asymétrique en rotation au moyen d’un calcul de moyenne de surface d’onde et d’une soustraction de surface d’onde d’une pluralité de résultats de détection de position de rotation ; la formation d’équations de différences finies au moyen d’une soustraction de surface d’onde de résultats de détection de deux positions de translation et d’une position de rotation arbitraire, et la conduite d’une détection absolue à haute résolution d’erreurs de forme de surface symétriques en rotation par résolution des équations de différence par l’intermédiaire d’un algorithme de reconstruction de surface d’onde basé sur le principe d’ajustement des moindres carrés ; et l’augmentation de la quantité de translation lors de la détection de translation, et la décomposition de la surface d’onde ayant une erreur de forme de surface d’un miroir détectée dans une pluralité de surfaces de sous-onde se croisant mutuellement pour effectuer une reconstruction de surface d’onde, respectivement, de sorte que le coefficient de transfert de bruit de l’algorithme de reconstruction de surface d’onde soit réduit.
(ZH)一种球面镜和平面镜面形误差的绝对检测方法,属于光学干涉测量技术领域,为解决球面镜和平面镜面形误差绝对检测时难以同时实现高空间分辨率和低噪声传递系数的问题,利用多个旋转位置检测结果的波面平均和波面相减实现大部分旋转非对称面形误差的高分辨率绝对检测;利用两个平移位置和任意旋转位置检测结果的波面相减组成有限差分方程组,通过基于最小二乘拟合原理的波面重构算法求解差分方程组,实现旋转对称面形误差和剩余的旋转非对称面形误差的高分辨率绝对检测;通过提高平移检测时的平移量,并将被检镜面形误差的波面分解为多个互相交叉的子波面分别进行波面重构,从而降低波面重构算法的噪声传递系数。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)