WO2016197083 DISPOSITIF DE SOCLE DE SUPPORT DE PLAQUETTE DE GRANDE CONDUCTIVITÉ THERMIQUE

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N° de publication :	WO/2016/197083	N° de la demande internationale :	PCT/US2016/035970
Date de publication :	08.12.2016	Date de dépôt international :	06.06.2016

CIB :

H01L 21/67 (2006.01) ,F26B 25/00 (2006.01) ,H02H 1/00 (2006.01) ,H02N 13/00 (2006.01)

Déposants :

WATLOW ELECTRIC MANUFACTURING COMPANY[US/US]; 12001 Lackland Road St. Louis, MO 63146, US

Inventeurs :

ATLAS, Boris; US
NOSRATI, Mohammad; US
SMITH, Kevin, R.; US
AMES, Ken; US
PTASIENSKI, Kevin; US

Mandataire :

BURRIS, Kelly, K.; US

Données relatives à la priorité :

62/171,539

05.06.2015

Titre

(EN) HIGH THERMAL CONDUCTIVITY WAFER SUPPORT PEDESTAL DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SOCLE DE SUPPORT DE PLAQUETTE DE GRANDE CONDUCTIVITÉ THERMIQUE

Abrégé :

(EN) A support pedestal device for an electrostatic chuck includes a base housing defining an internal cavity, and a base insert disposed proximate the internal cavity of the base housing. A fluid pathway is formed in the internal cavity and includes a plurality of linear-parallel cooling channels separated by corresponding plurality of linear-parallel cooling fins, a fluid supply channel, and a fluid return channel. A cooling fluid flows through the fluid supply channel, through the plurality of linear- parallel cooling channels, and back through the fluid return channel to cool the support pedestal device.
(FR) L'invention concerne un dispositif de socle de support pour un mandrin électrostatique comprenant un boîtier de base, délimitant une cavité interne, et une pièce d'insertion de base disposée à proximité de la cavité interne du boîtier de base. Un trajet de fluide est formé dans la cavité interne et comprend une pluralité de canaux de refroidissement linéaires parallèles séparés par une pluralité d'ailettes de refroidissement linéaires parallèles correspondantes, un canal d'alimentation en fluide et un canal de retour de fluide. Un fluide de refroidissement s'écoule à travers le canal d'alimentation en fluide, à travers la pluralité de canaux de refroidissement linéaires parallèles et en retour à travers le canal de retour de fluide afin de refroidir le dispositif de socle de support.

États désignés :

AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)

Langue de publication :

anglais (EN)

Langue de dépôt :

anglais (EN)

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