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1. (WO2016197083) DISPOSITIF DE SOCLE DE SUPPORT DE PLAQUETTE DE GRANDE CONDUCTIVITÉ THERMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   
N° de publication : WO/2016/197083 N° de la demande internationale : PCT/US2016/035970
Date de publication : 08.12.2016 Date de dépôt international : 06.06.2016
CIB :
H01L 21/67 (2006.01) ,F26B 25/00 (2006.01) ,H02H 1/00 (2006.01) ,H02N 13/00 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
26
SÉCHAGE
B
SÉCHAGE DE MATÉRIAUX SOLIDES OU D'OBJETS PAR ÉLIMINATION DU LIQUIDE QUI Y EST CONTENU
25
Parties constitutives d'application générale non couvertes par un des groupes F26B21/ ou F26B23/138
H ÉLECTRICITÉ
02
PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
H
CIRCUITS DE PROTECTION DE SÉCURITÉ
1
Détails de circuits de protection de sécurité
H ÉLECTRICITÉ
02
PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
N
MACHINES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
13
Embrayages ou dispositifs de maintien utilisant l'attraction électrostatique, p.ex. utilisant l'effet Johnson-Rahbek
Déposants :
WATLOW ELECTRIC MANUFACTURING COMPANY [US/US]; 12001 Lackland Road St. Louis, MO 63146, US
Inventeurs :
ATLAS, Boris; US
NOSRATI, Mohammad; US
SMITH, Kevin, R.; US
AMES, Ken; US
PTASIENSKI, Kevin; US
Mandataire :
BURRIS, Kelly, K.; US
Données relatives à la priorité :
62/171,53905.06.2015US
Titre (EN) HIGH THERMAL CONDUCTIVITY WAFER SUPPORT PEDESTAL DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SOCLE DE SUPPORT DE PLAQUETTE DE GRANDE CONDUCTIVITÉ THERMIQUE
Abrégé :
(EN) A support pedestal device for an electrostatic chuck includes a base housing defining an internal cavity, and a base insert disposed proximate the internal cavity of the base housing. A fluid pathway is formed in the internal cavity and includes a plurality of linear-parallel cooling channels separated by corresponding plurality of linear-parallel cooling fins, a fluid supply channel, and a fluid return channel. A cooling fluid flows through the fluid supply channel, through the plurality of linear- parallel cooling channels, and back through the fluid return channel to cool the support pedestal device.
(FR) L'invention concerne un dispositif de socle de support pour un mandrin électrostatique comprenant un boîtier de base, délimitant une cavité interne, et une pièce d'insertion de base disposée à proximité de la cavité interne du boîtier de base. Un trajet de fluide est formé dans la cavité interne et comprend une pluralité de canaux de refroidissement linéaires parallèles séparés par une pluralité d'ailettes de refroidissement linéaires parallèles correspondantes, un canal d'alimentation en fluide et un canal de retour de fluide. Un fluide de refroidissement s'écoule à travers le canal d'alimentation en fluide, à travers la pluralité de canaux de refroidissement linéaires parallèles et en retour à travers le canal de retour de fluide afin de refroidir le dispositif de socle de support.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)