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1. (WO2016196360) BAGUE DE MAINTIEN AYANT DES SURFACES INTERNES AVEC DES ÉLÉMENTS

Pub. No.:    WO/2016/196360    International Application No.:    PCT/US2016/034811
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Sat May 28 01:59:59 CEST 2016
IPC: B24B 37/32
B24B 41/06
H01L 21/304
H01L 21/306
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: REEDY, Steven Mark
YAVELBERG, Simon
OH, Jeonghoon
ZUNIGA, Steven M.
NAGENGAST, Andrew J.
HSU, Samuel Chu-Chiang
DANDAVATE, Gautam Shashank
Title: BAGUE DE MAINTIEN AYANT DES SURFACES INTERNES AVEC DES ÉLÉMENTS
Abstract:
Certains modes de réalisation de l'invention concernent une bague de maintien, laquelle bague a une surface interne ayant une première partie formée de multiples facettes planes et une seconde partie qui rejoint la première partie le long d'une limite et qui comprend une surface tronconique qui est inclinée vers le bas à partir de l'extérieur vers l'intérieur. Certains modes de réalisation de la bague de maintien ont une surface interne en serpentin ou crénelée, et/ou une surface interne avec des régions alternées de différentes propriétés de surface ou d'angles d'inclinaison différents.