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1. (WO2016196105) APPAREIL DE POSITIONNEMENT ET DE ROTATION DE SUSCEPTEUR, ET PROCÉDÉS D'UTILISATION
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N° de publication : WO/2016/196105 N° de la demande internationale : PCT/US2016/034039
Date de publication : 08.12.2016 Date de dépôt international : 25.05.2016
CIB :
H01L 21/683 (2006.01) ,H01L 21/687 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs : WEAVER, William T.; US
VOPAT, Robert Brent; US
YUDOVSKY, Joseph; US
SCHALLER, Jason M.; US
Mandataire : BLANKMAN, Jeffrey I.; US
Données relatives à la priorité :
15/163,85725.05.2016US
62/171,96805.06.2015US
Titre (EN) SUSCEPTOR POSITION AND ROTATION APPARATUS AND METHODS OF USE
(FR) APPAREIL DE POSITIONNEMENT ET DE ROTATION DE SUSCEPTEUR, ET PROCÉDÉS D'UTILISATION
Abrégé : front page image
(EN) Apparatus and methods for aligning large susceptors in batch processing chambers are described. Apparatus and methods for controlling the parallelism of a susceptor relative to a gas distribution assembly are also described.
(FR) L'invention concerne un appareil et des procédés d'alignement de grand suscepteurs dans des chambres de traitement par lots. L'invention concerne également un appareil et des procédés pour contrôler le parallélisme d'un suscepteur par rapport à un ensemble de distribution de gaz.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)