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1. (WO2016196105) APPAREIL DE POSITIONNEMENT ET DE ROTATION DE SUSCEPTEUR, ET PROCÉDÉS D'UTILISATION

Pub. No.:    WO/2016/196105    International Application No.:    PCT/US2016/034039
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu May 26 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/683
H01L 21/687
H01L 21/67
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: WEAVER, William T.
VOPAT, Robert Brent
YUDOVSKY, Joseph
SCHALLER, Jason M.
Title: APPAREIL DE POSITIONNEMENT ET DE ROTATION DE SUSCEPTEUR, ET PROCÉDÉS D'UTILISATION
Abstract:
L'invention concerne un appareil et des procédés d'alignement de grand suscepteurs dans des chambres de traitement par lots. L'invention concerne également un appareil et des procédés pour contrôler le parallélisme d'un suscepteur par rapport à un ensemble de distribution de gaz.