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1. (WO2016195983) COUCHES DE PIÉGEAGE DE CHARGE IN-SITU VARIANT GRADUELLEMENT PERMETTANT D'EFFECTUER UN SERRAGE ÉLECTROSTATIQUE ET D'OBTENIR D'EXCELLENTES PERFORMANCES PARTICULAIRES POUR DES FILMS DE CARBONE DOPÉS AU BORE

Pub. No.:    WO/2016/195983    International Application No.:    PCT/US2016/032713
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Tue May 17 01:59:59 CEST 2016
IPC: C23C 16/34
C23C 16/505
C23C 16/44
C23C 16/458
H01L 21/683
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: KULSHRESHTHA, Prashant, Kumar
DUAN, Ziqing
KHAJA, Abdul, Aziz
YE, Zheng, John
BANSAL, Amit, Kumar
Title: COUCHES DE PIÉGEAGE DE CHARGE IN-SITU VARIANT GRADUELLEMENT PERMETTANT D'EFFECTUER UN SERRAGE ÉLECTROSTATIQUE ET D'OBTENIR D'EXCELLENTES PERFORMANCES PARTICULAIRES POUR DES FILMS DE CARBONE DOPÉS AU BORE
Abstract:
La présente invention concerne, de manière générale, des couches de protection de chambre de traitement ayant une composition variant graduellement. Dans un exemple, la couche de protection est un film de nitrure de bore-carbone (BCN). Le film de BCN peut présenter une plus grande teneur en bore à la base du film. Au fur et à mesure que le film de BCN est déposé, la concentration en bore peut se rapprocher de zéro, tandis que la concentration relative de carbone et d'azote augmente. Le film de BCN peut être déposé en faisant circuler conjointement, au départ, un précurseur de bore, un précurseur de carbone et un précurseur d'azote. Après une premier laps de temps, le débit du précurseur de bore peut être réduit. Au fur et à mesure que le débit de précurseur de bore est réduit, une puissance RF peut être appliquée pour générer un plasma pendant le dépôt de la couche de protection.