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1. (WO2016195726) APPAREIL, PROCÉDÉ ET PRODUIT PROGRAMME D'ORDINATEUR POUR L'INSPECTION D'AU MOINS DES FACES LATÉRALES DE DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/195726    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/042194
Date de publication : 08.12.2016 Date de dépôt international : 27.07.2015
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventeurs : TRUYENS, Carl; (BE)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; (US)
Données relatives à la priorité :
62/171,906 05.06.2015 US
Titre (EN) APPARATUS, METHOD AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT FOR INSPECTION OF AT LEAST SIDE FACES OF SEMICONDUCTOR DEVICES
(FR) APPAREIL, PROCÉDÉ ET PRODUIT PROGRAMME D'ORDINATEUR POUR L'INSPECTION D'AU MOINS DES FACES LATÉRALES DE DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus, a method and a computer program product for inspecting at least side faces of a semiconductor device are disclosed. A frame construction is provided, which holds a camera, defining an imaging beam path. The semiconductor device is inserted into a mirror block. The mirror block has a first mirror, a second mirror, a third mirror and a fourth mirror, wherein the mirrors are arranged such that they surround a free space in the form of a rectangle. The opposing first mirror and third mirror are fixedly mounted and the opposing second mirror and fourth mirror movably mounted. A tilted mirror directs an image of the side faces of the semiconductor substrate generated by the mirror block to the camera.
(FR)L'invention concerne un appareil, un procédé et un produit programme d'ordinateur pour l'inspection d'au moins des faces latérales d'un dispositif à semi-conducteurs. Une construction de cadre, qui tient un appareil de prise de vues, est prévue pour délimiter un trajet de faisceau d'imagerie. Le dispositif à semi-conducteurs est inséré dans un bloc de miroirs. Le bloc de miroirs comporte un premier miroir, un deuxième miroir, un troisième miroir et un quatrième miroir, les miroirs étant agencés de telle sorte qu'ils entourent un espace libre sous la forme d'un rectangle. Les premier miroir et troisième miroir en vis-à-vis sont montés à demeure et les deuxième miroir et quatrième miroir en vis-à-vis sont montés de manière amovible. Un miroir incliné dirige une image des faces latérales du substrat à semi-conducteurs générée par le bloc de miroirs vers l'appareil de prise de vues.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)